در طبقه لیتوگرافی، جابجایی ۱°C در نرمپخت باعث تغییر در بایاس ابعاد بحرانی شما خواهد شد. این تغییر را به صورت تغییر عرض خط در سطح ویفر مشاهده خواهید کرد—و این همان نحوهای است که ساعتها کار فرآیند را هدر میدهید.
گرمای مادون قرمز کوتر/دولوپر قلب حرارتی پردازش فوتورزیست است: نرمپخت، سختپخت و خشککردن. اگر یکنواختی حرارتی به هم بخورد، بازده نیز کاهش مییابد.
موارد فنی مهم
این هیترهای مادون قرمز را حول منابع موج کوتاه میسازیم که واکنش سریعی دارند و حرارت را از ضخامت عبور میدهند تا دما در عرض چند ثانیه تثبیت شود، نه دقیقه. در سراسر سطح پخت، یکنواختی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱°C حفظ میشود که باعث کاهش تغییرات محلی CD و ضخامت میشود.
این بستهبندی با محیط کلینروم از کلاس ۱ تا کلاس ۱۰۰ سازگار است. مواد کمگسیل و مسیر کنترلشده ذرات، از ورود آلودگی به محفظه فرآیند جلوگیری میکند. عدم تولید ذره صفر، شعار نیست—یک محدودیت طراحی است که از طریق پرداخت سطح، آببندی و مسیر جریان هوا اجرا میشود.
دلیل کارایی در مسیرهای کوتر/دولوپر
در مسیر، هیتر IR کنترل پایدار بودجه حرارتی فوتورزیست را فراهم میکند. تکرارپذیری نرمپخت باعث بهبود حذف حلال میشود که ریسک موج ایستاده را کاهش داده و کنترل بهتری روی پروفیل دیواره جانبی میدهد.
ثبات سختپخت چسبندگی و مقاومت در برابر اچ را افزایش میدهد. نتیجه: تعداد کمتر دستههای بازکاری، ضایعات کمتر و پنجره فرآیندی که در بین دستهها و دستگاهها پایدار باقی میماند.
مادون قرمز انرژی را مستقیماً به رزیست و ویفر منتقل میکند، بنابراین مصرف انرژی کمتر و اتلاف حرارت کمتری در اتصالات و خروجیها وجود دارد. قابلیت اطمینان برای کارکرد ۲۴/۷ کارخانه طراحی شده—فواصل نگهداری پیشبینیشده و خروجی ثابت در هزاران سیکل پخت.
مواردی که باید بدانید
نصب به معنای تطبیق جایگاه هیتر، تلرانسهای نصب و اتصال خنککننده با پلتفرم کوتر/دولوپر و سپس همراستا کردن مسیر نوری با صفحه ویفر است. راهاندازی سریع است—فقط نرخ افزایش دما و زمان خنکسازی را با استک رزیست خود تنظیم کنید.
یک محدودیت: پاسخ مادون قرمز به سطوح بازتابی یا کم تابش حساس است. اگر پشت ویفر یا حامل دارای پوششهای غیرمعمول باشد، ممکن است نیاز به جبران تابش داشته باشید.
واحد را با استک رزیست و زیرلایه خود ارزیابی کنید، سپس دستور پخت را قفل کنید. پس از تنظیم، فرآیند تکرارپذیر باقی میماند—شیفت به شیفت، دسته به دسته.