Empaque de sensores inteligentes de infrarrojos

Tue, 30 Jun 2026 01:30:31 +0800

En la planta de fabricación, las líneas de envasado de sensores inteligentes no pueden permitirse desviaciones térmicas. Un proceso de secado incorrecto, o un punto caliente durante el proceso de secado, pueden hacer que la tasa de producción disminuya antes incluso de que termine el proceso de litografía. Por eso, hemos desarrollado una plataforma térmica por infrarrojos para eliminar esa variabilidad.

Lo que es importante en el funcionamiento interno Utilizamos emisores de luz NIR ajustados a la absorción del fotorevestimiento, de modo que el calor se distribuye rápidamente y sin contacto físico. En toda la zona de secado, la uniformidad a nivel de wafer se mantiene dentro de los ±0.1°C, y la repetibilidad se garantiza gracias a la pirometría de bucle cerrado en el propio plano del sustrato. El cuerpo del calentador está hecho de cuarzo y cerámica de alta pureza, por lo que no se generan partículas durante el funcionamiento estable. Funciona en salas limpias de clase 1–100 sin aumentar la cantidad de partículas presentes, y el perfil térmico se mantiene constante de lote en lote. La densidad de poder se gestiona para respetar los límites térmicos de las películas finas, y el tiempo de respuesta permite mantener un alto ritmo de producción, sin tener que esperar a que el sistema se estabilice térmicamente.

Inteligente on Immediate Infrared Heating Solutions

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