Emisor infrarrojo de halógeno de cuarzo

Fri, 03 Jul 2026 03:01:40 +0800

En el proceso de litografía, un desvío de medio grado en el perfil de cocción del material utilizado es suficiente para que se pierda el control de las dimensiones críticas. La eliminación de los solventes del fotoretículo se vuelve inconsistente, y luego el proceso de cocción “fija” ese error. La uniformidad térmica en toda la oblea no es algo opcional; es parte esencial del proceso.

Lo que realmente importa, desde el punto de vista técnico Los emisores infrarrojos de halógeno de cuarzo entregan calor justo donde se necesita, de forma rápida y con un control espectral preciso. Su salida de ondas cortas está ajustada para lograr una absorción eficaz por parte del fotoretículo, lo que permite que los ciclos de cocción sean rápidos y reproducibles. Logramos una uniformidad de ±0.1°C en toda la oblea, gracias a un sistema de control en bucle cerrado. El tiempo de respuesta se mide en milisegundos.

Lámpara halógena para sistema RTP

Sat, 20 Jun 2026 01:57:12 +0800

En el área de fabricación, una variación de 0,2°C en la temperatura de la oblea durante el proceso de secado del fotoreceptor puede afectar negativamente los márgenes de tolerancia y la calidad final del producto. En los sistemas RTP, esa lámpara no es solo una fuente de calor; también es clave para garantizar la uniformidad térmica y la reproducibilidad de los procesos.

Fabricamos lámparas halógenas para sistemas RTP que cuentan con un control espectral preciso y una respuesta rápida. La geometría del filamento, la envoltura de cuarzo y el camino seguido por los rayos de luz están todos ajustados para lograr una zona caliente estable, donde la uniformidad térmica se mantiene dentro de los límites de ±0,1°C. La salida de calor permanece constante a lo largo de miles de ciclos, lo que evita que el presupuesto térmico crítico varíe de una producción a otra. El ensamblaje de estas lámparas está diseñado para funcionar en entornos limpios, utilizando materiales que emiten poca energía y estructuras que reducen al mínimo la presencia de partículas, algo necesario en procesos de litografía donde cualquier tipo de contaminación es inaceptable.

Halógeno on Immediate Infrared Heating Solutions

Emisor infrarrojo de halógeno de cuarzo

Lámpara halógena para sistema RTP