Calentador infrarrojo para revelador de recubridor

Mon, 01 Jun 2026 17:44:35 +0800

En la sala de litografía, una deriva de 1°C en el soft bake modificará el sesgo de dimensión crítica. Se manifestará como una variación en el ancho de línea a lo largo del wafer, lo que provoca el descarte de horas de trabajo de proceso.
El calentador IR del coater/developer es el núcleo térmico del procesamiento de fotoresistentes: soft bake, hard bake y secado. Si la uniformidad térmica se desvía, la productividad disminuye.

Lo que importa, técnicamente

Estos calentadores infrarrojos se diseñan con fuentes de onda corta que responden rápidamente, calentando a través del espesor para que la temperatura se estabilice en segundos, no en minutos. En toda la superficie de horneado, la uniformidad a nivel de wafer se mantiene dentro de ±0.1°C, lo que reduce las desviaciones locales en CD y espesor.
El equipo es compatible con salas limpias desde Clase 1 hasta Clase 100. Materiales de baja emisión gaseosa y un recorrido controlado de partículas evitan la contaminación en la cámara de proceso. La generación cero de partículas no es un lema, sino una restricción de diseño garantizada por el acabado superficial, el sellado y la dirección del flujo de aire.

Desarrollador on Immediate Infrared Heating Solutions

Calentador infrarrojo para revelador de recubridor

Lo que importa, técnicamente