http://ir-heater-now.com/de/tags/thermoelement/ Recent content in Thermoelement on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo de Sun, 28 Jun 2026 01:21:41 +0800 http://ir-heater-now.com/de/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Sun, 28 Jun 2026 01:21:41 +0800 http://ir-heater-now.com/de/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Thermoelement für Halbleiterheizer"></p> <p>In der Fertigungshalle führt eine Abweichung von 0,5 °C auf der Heizplatte während des Backvorgangs des Photoresists zu erheblichen Problemen – die Kontrolle der Linienbreite wird dadurch beeinträchtigt, und die Produkte sind unbrauchbar. Es ist daher notwendig, die Temperatur so genau wie möglich zu messen – und zwar an der Stelle, wo sich tatsächlich die Temperatur befindet, nicht an den heißesten Punkten des Heizers.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong><br> Wir entwickeln Thermoelemente für Halbleiterheizer, damit die thermische Homogenität auf Waferebene bei ±0,1 °C bleibt. Zudem soll die Reproduzierbarkeit über verschiedene Chargen hinweg gewährleistet werden. Die Sensorkontakte befinden sich dort, wo die <a href="https://o-yate.com">Wafer</a> die Temperatur wahrnimmt – nicht dort, wo der Heizer am heißesten ist.</p>