Halogenlampe für RTP System

Sat, 20 Jun 2026 01:57:12 +0800

Auf der Fertigungsfläche kann eine Temperaturänderung von 0,2 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists dazu führen, dass der erforderliche Abstand zwischen den Schichten sowie die Qualität der Produkte beeinträchtigt werden. Bei RTP-Systemen ist die Lampe nicht nur eine Wärmequelle – sie ist auch entscheidend für die thermische Gleichmäßigkeit und Wiederholgenauigkeit des Prozesses.

Wir produzieren Halogenlampen für RTP-Systeme, bei denen die spektrale Eigenschaften präzise kontrolliert werden können und die Lampe schnell reagiert. Die Geometrie des Glühfadens, die Quarzkapsel sowie der Reflexor sind so gestaltet, dass eine stabile Heizzone entsteht, in der die Temperatur auf einem Niveau von ±0,1 °C bleibt. Die Ausgangstemperatur bleibt über Tausende von Zyklen hinweg konstant – dadurch ändert sich das kritische Temperaturprofil von Charge zu Charge nicht. Die Lampen sind außerdem für den Einsatz in Reinräumen geeignet; sie verwenden Materialien mit geringer Gasemission sowie Konstruktionen, die eine geringe Anzahl an Partikeln gewährleisten – schließlich kann die Lithografie keine Kontaminationen ertragen.

System on Immediate Infrared Heating Solutions

Halogenlampe für RTP System