Energieeffiziente Halbleiterheizung

Thu, 23 Jul 2026 09:29:59 +0800

Warum wir auf Infrarot für die Trocknung von Halbleitern umsteigen
Die Branche setzt stark auf „grüne“ und bleifreie Lösungen. Das ist großartig – doch es erzeugt großen Druck bezüglich der Art und Weise, wie wir die Wafer trocknen. Lange Zeit haben wir Convektionsöfen verwendet. Das Problem: Es handelt sich dabei im Grunde um riesige Geräte, die enorme Mengen an Luft erwärmen müssen, nur um Energie an einen winzigen Wafer zu bringen. Das ist eine echte Verschwendung von Energie.

Deshalb sind wir nun auf Infrarottechnologie umgestiegen. Anstelle der Erwärmung der Luft nutzt das Infrarot-Verfahren elektromagnetische Strahlung, um direkt auf das Substrat einzuwirken. Es geht dabei um Effizienz. Stellen Sie sich vor: Mit Infrarot wird der Vermittler überflüssig. Man muss keine Kilowattstunden damit verschwenden, das Gehäuse des Geräts oder die umliegende Luft zu erwärmen. Die Energie gelangt direkt vom Quellgerät zum Produkt. Das Ergebnis? Die gewünschten Temperaturen werden in Sekunden erreicht – nicht in Minuten. Dadurch wird der gesamte Reinraum weniger wie eine Sauna wirken, und die Energiekosten bleiben niedrig.

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