Doppelröhrenlampe mit Goldbeschichtung

Tue, 21 Jul 2026 02:06:48 +0800

Mehr Wärme genau da, wo sie gebraucht wird: Doppelrohrlampen mit Goldbeschichtung
Bei der Herstellung von Wafern muss man gegen Energieverschwendung kämpfen. Es ist notwendig, eine präzise Temperatur auf der Siliziumoberfläche zu erzielen – doch meistens entweicht die Wärme einfach in alle Richtungen.
Hier sind die Standardquarzlampen schuld. Sie geben die Wärme in alle Richtungen ab – das ist ineffizient. Deshalb verwenden wir Doppelrohrlampen mit Goldbeschichtung. Dadurch wird die Energie direkt dorthin geleitet, wo sie benötigt wird.

Warum Gold?
Gold reflektiert Infrarotstrahlung hervorragend. Durch die Addition einer dünnen Goldschicht zum Reflektor kann verhindert werden, dass der Lampenkörper all diese Wärme aufnimmt. So wird die Wärme direkt auf die Wafer geleitet. Jeder Watt, den man ausgibt, wird somit tatsächlich genutzt.

Mittelwellenquarzkernheizrohr

Mon, 22 Jun 2026 18:56:55 +0800

In der Produktion gilt folgendes Prinzip: Schon eine Abweichung von einem halben Grad in der Backtemperatur reicht aus, um die Homogenität der kritischen Dimensionen sowie die Ertragsrate zu beeinträchtigen. Die Mittelwellenquarzheizrohre sind so konstruiert, dass sie solche Abweichungen bereits vor dem Eintreten in die Messwerte verhindern.

Was wirklich wichtig ist, ist die Kontrolle direkt am Wafer. Die Mittelwelleninfrarotstrahlen dringen mit minimalem „Skin-Effekt“ durch den Fotoleiter ein. Zudem liefert das Quarzrohr Wärme schnell und effizient – schließlich hat es keine große thermische Masse. Wir halten die Homogenität der Waferoberfläche auf einem Niveau von ±0,1°C über den gesamten Backvorgang hinweg. Die Reproduzierbarkeit bleibt bei ±0,2°C über 5.000 Stunden hinweg konstant. So erhalten Sie eine stabile Leistung zwischen 100°C und 450°C, schnelle Temperaturänderungen bei weichem bzw. hartem Backvorgang sowie Kompatibilität mit Reinräumen der Klassen 1 bis 100 – ohne jegliche Partikelbildung. Die Quarzhülle gibt keine Gase ab und ist außerdem widerstandsfähig gegen chemische Angriffe. Zudem passt ihre Größe zu den Standard-Beschichtungs- und Beförderungsanlagen sowie zu manuellen Arbeitsplätzen – ohne dass Umbauten notwendig wären.

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Doppelröhrenlampe mit Goldbeschichtung

Mittelwellenquarzkernheizrohr