http://ir-heater-now.com/de/tags/photoresist/ Recent content in Photoresist on Immediate Infrared Heating Solutions Hugo de Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/de/posts/photoresist-baking-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 01:01:07 +0800 http://ir-heater-now.com/de/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-now.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Photoresist Backenlampe"></p> <p>Im Bereich der Lithografie sind die Prozesse des Weich- und Hartbrennens keine einfachen „thermischen Schritte“. Es handelt sich dabei um entscheidende Punkte, an denen die Genauigkeit des Musters bestimmt wird – oder auch nicht. Der Fotolack ist empfindlich gegenüber Temperaturschwankungen. Selbst geringfügige Abweichungen können dazu führen, dass die Kontrolle über die CD-Qualität beeinträchtigt wird.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong><br> Wir verwenden Kurzwellenhalogenlampen in Quarzkäfigen – dadurch entsteht schnelle, trockene Wärme mit wenig Staubentstehung. Die entscheidende Parameter ist die Temperaturgleichmäßigkeit auf der Wafer-Oberfläche: ±0,1°C. Die Wiederholgenauigkeit bleibt ebenfalls hoch, sodass jeder Brennvorgang genauso verläuft wie der vorherige.</p>