Mittelwellenquarzkernheizrohr

Mon, 22 Jun 2026 18:56:55 +0800

In der Produktion gilt folgendes Prinzip: Schon eine Abweichung von einem halben Grad in der Backtemperatur reicht aus, um die Homogenität der kritischen Dimensionen sowie die Ertragsrate zu beeinträchtigen. Die Mittelwellenquarzheizrohre sind so konstruiert, dass sie solche Abweichungen bereits vor dem Eintreten in die Messwerte verhindern.

Was wirklich wichtig ist, ist die Kontrolle direkt am Wafer. Die Mittelwelleninfrarotstrahlen dringen mit minimalem „Skin-Effekt“ durch den Fotoleiter ein. Zudem liefert das Quarzrohr Wärme schnell und effizient – schließlich hat es keine große thermische Masse. Wir halten die Homogenität der Waferoberfläche auf einem Niveau von ±0,1°C über den gesamten Backvorgang hinweg. Die Reproduzierbarkeit bleibt bei ±0,2°C über 5.000 Stunden hinweg konstant. So erhalten Sie eine stabile Leistung zwischen 100°C und 450°C, schnelle Temperaturänderungen bei weichem bzw. hartem Backvorgang sowie Kompatibilität mit Reinräumen der Klassen 1 bis 100 – ohne jegliche Partikelbildung. Die Quarzhülle gibt keine Gase ab und ist außerdem widerstandsfähig gegen chemische Angriffe. Zudem passt ihre Größe zu den Standard-Beschichtungs- und Beförderungsanlagen sowie zu manuellen Arbeitsplätzen – ohne dass Umbauten notwendig wären.

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