Ersatzteil für Leybold Vakuumheizer

Sat, 27 Jun 2026 01:20:36 +0800

Im Laufe des Prozesses ändert sich das Profil der Wärmebehandlung um 0,2°C – dadurch verhält sich der Fotorezystenzstoff anders. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur nimmt ab. Es kommt zu zusätzlichen Bearbeitungsschritten. In der Lithografie ist thermische Stabilität keine Option – sie ist vielmehr eine notwendige Voraussetzung für den Prozess.

Was wirklich wichtig ist
Wir bauen Ersatzheizer von Leybold auf Basis von Kurzwellen-Infrarotelementen sowie einem aus Quarz bestehenden Wärmesystem. Dadurch bleibt die Temperaturgleichmäßigkeit auf der gesamten Oberfläche der Wafer bei ±0,1°C. Der Heizkörper ist so konstruiert, dass er eine Vakuumintegrität gewährleistet – mit passenden Flanschen und geschützten Anschlüssen, um Ausgasungen und Partikelbildung zu minimieren. Durch die richtige Auswahl der Widerstände und der Geometrie bleibt die Leistungsdichte bei der vom Ofen erwarteten Spannung konstant. Zudem bleibt die Temperaturgenauigkeit innerhalb der festgelegten Grenzen des hochentwickelten Fotorezystenzstoffs.

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Ersatzteil für Leybold Vakuumheizer