Herstellung von Infrarotlampen aus Kohlenstofffaser

Mon, 13 Jul 2026 17:03:27 +0800

Hören Sie auf, alte Heizmethoden in Ihrer intelligenten Fertigungsanlage zu verwenden!
Wenn Sie eine moderne, digitalisierte Fertigungsanlage planen, müssen Sie überdenken, wie Sie mit der Wärmeumwandlung umgehen. Diese alten Widerstandsheizelemente sind einfach zu langsam. Wenn Ihre Produktionslinie in Millisekunden arbeitet, können Sie es sich nicht leisten, darauf zu warten, bis sich die Heizelemente aufgewärmt haben.

Heizer zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren

Fri, 26 Jun 2026 01:20:19 +0800

Im Fertigungsbereich sind es gerade die Schritte des Trocknungsprozesses, bei denen der thermische Rahmen für die Steuerung der Linienbreite festgelegt wird. Eine Abweichung von 2°C während des weichen oder harten Trocknungsprozesses führt zu Veränderungen im CD-Wert und kann dazu führen, dass Unreinheiten entstehen. Wir haben einen Heizer auf Basis von Kohlenstoffnanoröhrchen entwickelt, um diese Unregelmäßigkeiten auszugleichen.

Was technisch wichtig ist: Über die gesamte Fläche des Chucks hinweg wird eine thermische Homogenität von ±0,1°C erreicht, wobei die Genauigkeit des Setpoints bei ±0,2°C liegt. Das Element aus Kohlenstoffnanoröhrchen reagiert schnell und bleibt stabil. Zudem sorgt das designs ohne Quarz dafür, dass keine Partikel entstehen. Der Heizer kann in Reinräumen der Klassen 1–100 eingesetzt werden – es kommt weder zu Ausgasungen in den Prozessraum noch zu Hotspots, die negative Auswirkungen auf den Resist haben könnten. Die Steuerung der Temperaturanhebung sorgt dafür, dass das thermische Profil der Chemie des Resists entspricht – statt dass die Temperatur einfach über das maximale Niveau hinaus steigt.

Kohlenstoff on Immediate Infrared Heating Solutions

Herstellung von Infrarotlampen aus Kohlenstofffaser

Heizer zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren