Quarz Halogen Infrarot Emitter

Fri, 03 Jul 2026 03:01:40 +0800

Auf der Lithografieebene reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad im Profil der „Soft Bake“-Prozessschritte aus, um die Kontrolle über die kritischen Abmessungen zu beeinträchtigen. Die Entfernung des Lösungsmittels aus dem Fotolack wird ungleichmäßig – dadurch bleibt dieser Fehler bestehen. Eine gleichmäßige Temperaturverteilung über dem Wafer ist keine zusätzliche Eigenschaft – sie ist vielmehr ein wesentlicher Bestandteil des Prozesses.

Was technisch wichtig ist:
Quarzhalogen-Infrarotemitter bringen die Wärme genau dorthin, wo sie benötigt wird – schnell und mit präziser Kontrolle über das Spektrum. Ihr Kurzwellenoutput ist so eingestellt, dass er eine starke Absorption im Fotolack bewirkt. Dadurch sind die Trocknungszyklen kurz und wiederholbar. Mit geschlossenen Regelkreisen erreichen wir eine Temperaturgleichmäßigkeit von ±0,1 °C über dem gesamten Wafer. Die Reaktionszeit beträgt nur Millisekunden.

Halogenlampe für RTP System

Sat, 20 Jun 2026 01:57:12 +0800

Auf der Fertigungsfläche kann eine Temperaturänderung von 0,2 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists dazu führen, dass der erforderliche Abstand zwischen den Schichten sowie die Qualität der Produkte beeinträchtigt werden. Bei RTP-Systemen ist die Lampe nicht nur eine Wärmequelle – sie ist auch entscheidend für die thermische Gleichmäßigkeit und Wiederholgenauigkeit des Prozesses.

Wir produzieren Halogenlampen für RTP-Systeme, bei denen die spektrale Eigenschaften präzise kontrolliert werden können und die Lampe schnell reagiert. Die Geometrie des Glühfadens, die Quarzkapsel sowie der Reflexor sind so gestaltet, dass eine stabile Heizzone entsteht, in der die Temperatur auf einem Niveau von ±0,1 °C bleibt. Die Ausgangstemperatur bleibt über Tausende von Zyklen hinweg konstant – dadurch ändert sich das kritische Temperaturprofil von Charge zu Charge nicht. Die Lampen sind außerdem für den Einsatz in Reinräumen geeignet; sie verwenden Materialien mit geringer Gasemission sowie Konstruktionen, die eine geringe Anzahl an Partikeln gewährleisten – schließlich kann die Lithografie keine Kontaminationen ertragen.

Halogene on Immediate Infrared Heating Solutions

Quarz Halogen Infrarot Emitter

Halogenlampe für RTP System