Beschichter Entwickler Infrarot Heizgerät

Mon, 01 Jun 2026 17:44:35 +0800

Auf der Lithografie-Ebene führt eine Drift von 1°C beim Softbake zu einer Verschiebung des kritischen Dimensions-Bias. Dies zeigt sich als Linienbreitenvariation über den Wafer hinweg – und so werden Stunden an Prozessarbeit verworfen.
Der Coater/Developer IR-Heizer ist das thermische Herzstück der Fotolackverarbeitung: Softbake, Hardbake und Trocknung. Wenn die thermische Gleichmäßigkeit leidet, sinkt die Ausbeute.

Technisch relevant

Wir bauen diese Infrarot-Heizer um kurzwellige Quellen, die schnell reagieren und durch die Schichtdicke heizen, so dass sich die Temperatur in Sekunden und nicht Minuten einstellt. Über die Backfläche hinweg liegt die Wafer-gleichmäßigkeit innerhalb von ±0,1°C, was lokale CD- und Dickenabweichungen reduziert.
Das Gehäuse ist für Reinraumklassen von Class 1 bis Class 100 geeignet. Materialien mit niedrigem Ausgasverhalten und ein partikelfreier Pfad verhindern Kontamination im Prozessraum. Null Partikelgenerierung ist kein Werbeslogan, sondern eine Designvorgabe, die durch Oberflächenfinish, Dichtung und Luftstromführung sichergestellt wird.

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