Im Fertigungsbereich sind es gerade die Schritte des Trocknungsprozesses, bei denen der thermische Rahmen für die Steuerung der Linienbreite festgelegt wird. Eine Abweichung von 2°C während des weichen oder harten Trocknungsprozesses führt zu Veränderungen im CD-Wert und kann dazu führen, dass Unreinheiten entstehen. Wir haben einen Heizer auf Basis von Kohlenstoffnanoröhrchen entwickelt, um diese Unregelmäßigkeiten auszugleichen.
Was technisch wichtig ist: Über die gesamte Fläche des Chucks hinweg wird eine thermische Homogenität von ±0,1°C erreicht, wobei die Genauigkeit des Setpoints bei ±0,2°C liegt. Das Element aus Kohlenstoffnanoröhrchen reagiert schnell und bleibt stabil. Zudem sorgt das designs ohne Quarz dafür, dass keine Partikel entstehen. Der Heizer kann in Reinräumen der Klassen 1–100 eingesetzt werden – es kommt weder zu Ausgasungen in den Prozessraum noch zu Hotspots, die negative Auswirkungen auf den Resist haben könnten. Die Steuerung der Temperaturanhebung sorgt dafür, dass das thermische Profil der Chemie des Resists entspricht – statt dass die Temperatur einfach über das maximale Niveau hinaus steigt.
Warum das in der Lithografie funktioniert: In der Lithografie beeinflusst die Temperaturstabilitität beim weichen Trocknen die Entfernung der Lösungsmittel sowie den Spannungsgrad der Schicht. Die Stabilität beim harten Trocknen wiederum bestimmt die Haftungseigenschaften sowie die Widerstandsfähigkeit gegen das Ätzen. Mit diesem Heizer nehmen die Abweichungen im CD-Wert ab, die Anzahl der Nacharbeiten sinkt, und die Linienbreite bleibt konstant. Der Heizer kann rund um die Uhr betrieben werden, mit vorhersehbaren Wartungsintervallen – dadurch wird unplanmäßiger Stillstand vermieden. Zudem wird weniger Energie verbraucht, da das Element effizient erwärmt wird und die Temperatur ohne zusätzliche Schaltvorgänge gehalten werden kann.
Welche Details wichtig sind: Der Heizer benötigt eine spezielle, gefilterte Stromversorgung sowie eine ordnungsgemäße Verbindung zum Chuck. Uneinheitliche Anschlüsse führen zu Ungleichmäßigkeiten in der Temperaturverteilung. Planen Sie einen kurzen Testbetrieb, um die Anheizgeschwindigkeit an Ihre speziellen Resistsysteme anzupassen. Sobald das System eingestellt ist, bleibt die Temperaturstabilität von Charge zu Charge konstant.