Jak vysušit destičky MEMS bez problémů
Vysoušení destiček senzorů typu MEMS představuje opravdu náročný úkol. Je potřeba, aby tekutina na povrchu destičky rychle zmizela, ale pokud nebudete opatrní, můžete způsobit vznik kapek vody na povrchu – nebo dokonce mechanické napětí, které zničí celou šarvu destiček.
Proto používáme infrazářivé ohřívače určené právě k tomuto účelu. Místo toho, aby ohřívaly vzduch, působí přímo na povrch destičky. Tím se odstraní vlhkost dřív, než má povrchní napětí šanci spojit ty křehké struktury MEMS dohromady a poškodit je.
Strana tepla
Usilujeme o vysoký výkon na jednotku délky. Proč? Protože chceme, aby destička dosáhla teploty odpařování během sekund, ne minut. Pokud proces vysoušení trvá příliš dlouho, riskujeme kontaminaci destiček.
Ale je tu jeden problém: vysoká hustota tepla je dvousečná zbraň. Musíte být opatrní s tím, jak gradujete teplotu nahoru a dolů. Pokud prudce změníte teplotu, tenké membrány na senzorech se mohou roztrhnout. Vše záleží na správném postupu.
Křemík a problém „odpadu“
Aby vše zůstalo stabilní, umísťujeme vlákna do křemíku vysoké čistoty. To je jediný způsob, jak se vyrovnat s velkými teplotními výkyvy, aniž by se celá konstrukce pokřivila.
Vlákna také pokrýváme vrstvou. Tím se mění spektrum emise energie, takže energie dopadá přímo na destičku, nikoliv jen na stěny komory. Tím se teplota udrží tam, kde má být. Navíc používáme standardní konektory, takže při údržbě je můžete jednoduše vyměnit a pokračovat v práci.
Žádné prostor pro chyby
V čisté místnosti je jediný elektrický oblouk noční můrou. Může zničit celou šarvu destiček během okamžiku.
Proto nehádáme. Každý ohřívač, který expedujeme, prochází 100% testy odolnosti proti dielektrickým vlivům a izolační odolnosti. Testujeme je až na jejich absolutní limity napětí, abychom se ujistili, že nedochází k žádným únikům proudu. Selhání v provozu prostě není možné.
Jeden poslední tip: ujistěte se, že vaše zdroje napájení odpovídají impedanci ohřívače. Pokud to nebudou odpovídat, buď budete mít slabý výkon, nebo vlákna rychle shoří.