ফ্যাব প্ল্যান্ট হিটিং সলিউশন

Sun, 07 Jun 2026 01:15:47 +0800

ফ্যাব ফ্লোরে, তাপমাত্রার বিচ্যুতি সতর্ক সংকেত সহ প্রকাশ পায় না। এটি সফট বেকের পরে CD এর বিচ্যুতি, হার্ড বেকের পরে প্রোফাইলের উপর ভিত্তি হিসেবে এবং স্ক্র্যাপ হিসাবে প্রকাশ পায় যা শুধুমাত্র তখনই দেখা যায় যখন লটটি ইতিমধ্যে ফটোরেজিস্ট এবং সময়ের মাধ্যমে পুড়ে গেছে। ওয়েফার-স্তরের তাপ নিয়ন্ত্রণ একটি অতিরিক্ত বিষয় নয়। এটি প্রক্রিয়ার বাজেটের একটি অংশ।

যা প্রযুক্তিগতভাবে গুরুত্বপূর্ণ আমরা প্ল্যান্ট হিটিং নিকট-ইনফ্রারেড (NIR) এবং মধ্য-তরঙ্গ ইনফ্রারেড মডিউলগুলির চারপাশে তৈরি করেছি যা সেমিকন্ডাক্টর তাপ শৃঙ্খলার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। লক্ষ্য হল ±0.1°C ওয়েফার-স্তরের সমতা—চাক এবং ফটোরেজিস্ট স্তনের মধ্যে। এটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে চলে, এবং আমরা ইন-সিটু মনিটরিং এবং ডাউনস্ট্রিম ত্রুটি চেকের মাধ্যমে শূন্য কণার উৎপাদন নিশ্চিত করেছি।

Solution on Immediate Infrared Heating Solutions

ফ্যাব প্ল্যান্ট হিটিং সলিউশন