লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, “সফ্ট বেক” প্রক্রিয়ায় মাত্র অর্ধ-ডিগ্রির পরিবর্তনই গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলোকে বিঘ্নিত করতে যথেষ্ট। ফটোরেজিস্ট থেকে...

ফোটোরেজিস্ট বেক প্রক্রিয়ায় ওয়েফারের তাপমাত্রা ০.২°C পর্যন্ত পরিবর্তিত হতে পারে; এর ফলে ওয়েফারের গুণমান ও উৎপাদন ক্ষমতা কমে যেতে পারে। RTP-এ ঐ...