ফ্যাব ফ্লোরে, বেকিং প্রক্রিয়ার সময়ই লাইনওয়াইডনেস নিয়ন্ত্রণের জন্য থার্মাল বাজেট নির্ধারিত হয়। সফট বেক বা হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় ২°C এর মতো পরিবর্তন ঘটলে CD বায়াসে পরিবর্তন আসে; ফলে স্কামিং সমস্যা দেখা দেয়। এই সমস্যাগুলো দূর করার জন্যই আমরা কার্বন ন্যানোটিউব ভিত্তিক হিটার তৈরি করেছি।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
চাকের উপর ওয়েফারের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; আর সেটপয়েন্টের পুনরাবৃত্তি হয় ±০.২°C এর মধ্যে। কার্বন ন্যানোটিউব উপাদানটি দ্রুত প্রতিক্রিয়া জানায় এবং স্থিতিশীল থাকে। কোয়ার্টজ-বিহীন ডিজাইনের কারণে কণা উৎপন্ন হয় না। এটি ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুমে কাজ করে; প্রক্রিয়া চেম্বারে কোনো গ্যাস নির্গত হয় না, আর কোনো হট স্পটও থাকে না। র্যাম্প কন্ট্রোলের মাধ্যমে থার্মাল প্রোফাইলটি রেজিস্টের রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যের সাথে মিলে থাকে; হিটারের ওভারশুট সমস্যা দেখা দেয় না।
লিথোগ্রাফিতে এটি কেন কার্যকর?
লিথোগ্রাফিতে, সফট বেকের তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকলে সলভেন্ট অপসারণ ও ফিল্মের স্ট্রেস নিয়ন্ত্রণ করা যায়। হার্ড বেকের স্থিতিশীলতা অ্যাডহেশন ও ইটচ রেজিস্ট্যান্স নিয়ন্ত্রণ করে। এই হিটারের সাহায্যে CD-এর পরিবর্তন কমে যায়; রিওয়ার্কের প্রয়োজন কমে যায়। এটি ২৪/৭ কাজ করে; রক্ষণাবেক্ষণের সময়ও কম লাগে। ফলে অপ্রত্যাশিত বন্ধের সময়ও কমে যায়। শক্তি ব্যবহারও কম হয়; কারণ এটি দক্ষতার সাথে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে।
আপনার জন্য প্রয়োজনীয় বিষয়গুলো
হিটারটির জন্য বিশেষায়িত, ফিল্টারযুক্ত পাওয়ার সাপ্লাই এবং চাকের সাথে সঠিক থার্মাল সংযোগ প্রয়োজন। অসামঞ্জস্যপূর্ণ ইন্টারফেসের কারণে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা কঠিন হয়। আপনার নির্দিষ্ট রেজিস্ট স্ট্যাকের জন্য র্যাম্প রেট সামঞ্জস্য করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত টেস্ট প্রয়োজন। একবার সামঞ্জস্য হয়ে গেলে, প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে চলবে; আর থার্মাল প্রোফাইলটি প্রতিবারই একই থাকবে।