晶圆老化测试加热灯

在老化线上，温度稳定性不是一种偏好——而是一个严格的约束。几度的漂移将破坏参数良率，而光刻胶烘烤不均匀将耗尽你的紧凑光刻预算，并将良好的晶圆变成废料。我们设计的晶圆老化加热灯旨在保持热场的稳定，确保每个班次都一致。 核心原理很简单。石英外壳内的短波卤素元件提供快速、直接的辐射热，具有严格的光谱控制...