Trên dây chuyền sản xuất linh kiện cảm biến thông minh, các dây chuyền đóng gói không thể chấp nhận được sự dao động nhiệt độ. Chỉ cần một lần xử lý nhiệt không đúng tiêu chuẩn, hoặc có điểm nóng xuất hiện trong quá trình xử lý nhiệt, thì tỷ lệ thành phẩm sẽ giảm sút ngay từ đầu, trước khi quá trình in ấn kết thúc. Chúng tôi đã phát triển một hệ thống đo nhiệt bằng tia hồng ngoại để loại bỏ những yếu tố gây biến động nhiệt độ này.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng các thiết bị phát tia hồng ngoại được điều chỉnh sao cho phù hợp với khả năng hấp thụ ánh sáng của chất phủ bề mặt. Nhờ đó, nhiệt lượng được truyền đến bề mặt wafer một cách nhanh chóng và không cần tiếp xúc trực tiếp.Ở khu vực xử lý nhiệt, độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C. Độ lặp lại của quá trình xử lý nhiệt cũng được kiểm soát chặt chẽ nhờ hệ thống đo nhiệt độ tự động. Thân máy sưởi được làm từ thạch anh và gốm có độ tinh khiết cao, vì vậy trong trạng thái ổn định, không có hạt bụi nào được tạo ra. Hệ thống này hoạt động tốt trong môi trường sạch loại 1–100, mà không làm tăng lượng bụi trong không khí. Đồng thời, độ ổn định của nhiệt độ cũng được duy trì giữa các lô sản phẩm khác nhau. Mật độ năng lượng được kiểm soát chặt chẽ để đảm bảo nhiệt độ phù hợp với yêu cầu của các lớp phim mỏng. Thời gian phản ứng của hệ thống cũng được kiểm soát để đảm bảo tốc độ sản xuất không bị chậm lại do việc chờ đợi quá trình nhiệt độ ổn định.
Tại sao nó phù hợp với việc đóng gói linh kiện cảm biến thông minh? Khi sản xuất các linh kiện cảm biến thông minh, việc sử dụng các lớp phim mỏng và các cấu trúc nhỏ bé đòi hỏi sự chính xác tuyệt đối. Với hệ thống xử lý nhiệt bằng tia hồng ngoại này, quá trình xử lý chất phủ bề mặt diễn ra một cách đồng đều. Kết quả là số lượng sản phẩm phải tái chế giảm đi, và độ chính xác của các kích thước quan trọng của linh kiện cũng được đảm bảo.
Hệ thống này còn giúp tiết kiệm năng lượng bằng cách ngăn chặn việc sưởi ấm không cần thiết. Nó chỉ sưởi ấm khi cần thiết và có khả năng làm mát nhanh chóng. Nhờ đó, mức tiêu thụ năng lượng giảm đi, trong khi thời gian xử lý vẫn được duy trì ở mức ổn định. Độ tin cậy của hệ thống được đảm bảo thông qua việc theo dõi tuổi thọ của các thiết bị phát tia hồng ngoại, từ đó đảm bảo nhiệt độ luôn ở mức mong muốn.
Những gì bạn cần lưu ý khi lắp đặt Việc lắp đặt đòi hỏi nguồn điện ổn định và bề mặt lắp đặt phải ổn định. Các thiết bị phát tia hồng ngoại rất nhạy cảm với sự lệch lạc về vị trí; nếu có sự lệch lạc, bạn sẽ thấy hiện tượng bóng tối xuất hiện ở các cạnh của wafer. Hãy tiến hành kiểm tra ngắn gọn để xác định các thông số cần thiết, sau đó cố định các thông số này trong kế hoạch điều khiển của bạn.
Sau khi được căn chỉnh đúng vị trí, quá trình xử lý sẽ được lặp lại một cách ổn định. Tuy nhiên, vẫn cần phải kiểm tra thường xuyên các thiết bị quang học và hệ thống đo nhiệt độ để đảm bảo chúng hoạt động tốt.