Làm khô các tấm wafer MEMS một cách hiệu quả mà không gây hư hại
Việc làm khô các tấm wafer cảm biến MEMS đòi hỏi sự cẩn trọng cao. Bạn cần loại bỏ nước trên bề mặt wafer càng nhanh càng tốt, nhưng nếu không cẩn thận, bạn sẽ gặp phải các vết nước trên bề mặt wafer, hoặc tệ hơn nữa, các lực cơ học có thể phá hủy toàn bộ số wafer đó.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các thiết bị sưởi bằng tia hồng ngoại được thiết kế riêng cho mục đích này. Thay vì chỉ làm nóng không khí, những thiết bị này tác động trực tiếp lên bề mặt wafer. Điều này giúp loại bỏ hơi ẩm trước khi lực căng bề mặt có thể làm hư hại các cấu trúc nhạy cảm trong wafer.
Vấn đề liên quan đến nhiệt độ
Chúng tôi sử dụng công suất cao trên mỗi inch chiều dài của thiết bị sưởi. Tại sao ư? Bởi vì bạn muốn wafer đạt đến nhiệt độ bay hơi trong vài giây, chứ không phải vài phút. Nếu quá trình làm khô kéo dài, điều đó sẽ tạo điều kiện cho bụi bẩn xâm nhập vào wafer.
Nhưng đó cũng là một thách thức: nhiệt độ cao có thể gây hư hại cho các màng mỏng trên wafer. Vì vậy, bạn cần phải kiểm soát việc tăng giảm nhiệt độ một cách cẩn thận. Nếu bạn làm thay đổi nhiệt độ quá đột ngột, các màng mỏng trên wafer sẽ bị nứt.
Vật liệu quartz và vấn đề “phế phẩm”
Để duy trì tính ổn định, chúng tôi sử dụng vật liệu quartz có độ tinh khiết cao để chứa các sợi gia nhiệt. Đó là cách duy nhất để kiểm soát những thay đổi nhiệt độ đột ngột mà không làm wafer bị biến dạng.
Chúng tôi cũng phủ một lớp vật liệu lên các sợi gia nhiệt. Điều này giúp chuyển hướng bức xạ nhiệt để năng lượng tác động trực tiếp lên bề mặt wafer, thay vì chỉ làm nóng các bức tường của buồng sưởi. Nhờ đó, nhiệt lượng được giữ nguyên ở vị trí cần thiết. Ngoài ra, chúng tôi còn sử dụng các连接器 tiêu chuẩn, vì vậy khi cần bảo trì, bạn chỉ cần thay thế chúng và tiếp tục sử dụng thiết bị.
Không thể chấp nhận sai sót
Trong môi trường sạch, một sự cố điện nhỏ cũng có thể gây hư hại nghiêm trọng cho toàn bộ số wafer. Vì vậy, chúng tôi không dám mạo hiểm. Mỗi thiết bị sưởi mà chúng tôi gửi đi đều phải trải qua các bài kiểm tra về khả năng chịu điện áp và độ cách điện. Chúng tôi đẩy thiết bị lên mức điện áp tối đa để đảm bảo không có sự rò rỉ năng lượng nào xảy ra. Việc thiết bị bị hỏng trong quá trình sử dụng là điều không thể chấp nhận được.
Một lưu ý cuối cùng: hãy đảm bảo rằng nguồn điện cung cấp phù hợp với trở kháng của thiết bị sưởi. Nếu không, thiết bị sẽ hoạt động kém hiệu quả, hoặc các sợi gia nhiệt sẽ bị cháy nhanh chóng.