На заводі з виробництва чутливих сенсорів лінії пакування не можуть допускати температурних відхилень. Один лише недостатньо ефективний процес обробки може призвести до проблем, а один надмірно інтенсивний процес – до появи „гарячих точок“. У результаті якість продукції починає погіршуватися ще до завершення процесу літографії. Ми створили інфрачервону термальну платформу, яка допомагає усунути ці відхилення.
Що є важливим у роботі цієї платформи
Ми використовуємо емітери НІР, налаштовані на частоту поглинання світла фоторезистом. Це дозволяє швидко та без контакту передавати тепло. У зоні обробки однорідність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C. Повторюваність процесу забезпечується за допомогою системи контролю температури прямо на поверхні підкладки. Корпус нагрівача виготовлений з кварцу та високочистотної кераміки, тож при постійній роботі не утворюються частинки. Платформа може працювати у чистих приміщеннях класу 1–100 без збільшення кількості частинок у повітрі. Температурний профіль залишається стабільним у різних партиях продукції. Інтенсивність потужності регулюється так, щоб не порушуватися термічні параметри тонких плівок. Час реакції достатній для забезпечення стабільного темпу виробництва – не потрібно чекати на стабілізацію температури.
Чому ця платформа підходить для виробництва чутливих сенсорів
Під час виробництва використовуються тонкі плівки та делікатні елементи, тож тут немає місця на помилки. Завдяки цій інфрачервоній платформі процес обробки фоторезисту відбувається у правильних параметрах: процеси сушіння відбуваються рівномірно, а процеси затвердіння – без перевищення температури. Це дозволяє зменшити кількість переробок та відходів, а також забезпечити точний контроль за розмірами елементів.
Ця платформа також дозволяє економити енергію, оскільки нагрівається лише тоді, коли це необхідно, а також швидко охолоджується. Це дозволяє зменшити споживання енергії, при цьому час виконання операцій залишається стабільним. Надійність платформи забезпечується завдяки постійному контролю за параметрами емітерів, що дозволяє підтримувати температуру в заданих межах.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Для роботи платформи необхідна стабільна подача енергії та стабільна основа для її розміщення. Емітери чутливі до неправильного розташування, тож у разі відхилень може виникнути ефект тіні на краях пластини. Потрібно провести коротку перевірку для налаштування параметрів, а потім закріпити їх у системі керування.
Як тільки платформа налаштована правильно, процес стає повторюваним. Проте все одно необхідно регулярно перевіряти параметри оптики та калібрувати пірометр.