Üretim alanlarında, akıllı sensör paketleme hatları termal değişikliklere karşı dayanıklı olmalıdır. Standartların dışına çıkan bir ısı uygulaması veya aşırı ısınma durumu, litografi işlemi henüz bitmeden verimliliğin düşmesine neden olur. Bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için bir kızılötesi termal platform geliştirdik.
Önemli olan şeyler
Fotorezistin emilimine uygun şekilde ayarlanmış NIR vericiler kullanıyoruz; böylece ısı hızlı ve temas olmadan aktarılır. Isıtma bölgesindeki waferler arasındaki sıcaklık farkı ±0,1°C seviyesinde tutulur ve tekrarlanabilirlik, substrat yüzeyindeki kapalı döngülü termometri sayesinde sağlanır. Isıtıcı gövdesi kuvars ve yüksek saflıkta seramikten yapılmıştır; bu sayede sabit durumda parçacık üretilmez. Bu sistem, 1–100 sınıfı temiz odalarda çalışabilir ve parçacık sayısını artırmaz. Ayrıca termal profiller her partide tutarlı kalır. Güç yoğunluğu, ince filmlerin termal ihtiyaçlarına uygun şekilde ayarlanır ve tepki süresi de üretim hızını korur; böylece büyük ölçekli termal düzenlemeler beklemeye gerek kalmaz.
Neden akıllı sensör paketleme için uygundur?
İnce filmler, hassas yapılar ve çok hassas boyut kontrolü gerektiren uygulamalar söz konusu olduğunda bu kızılötesi ısıtma sistemi idealdir. Fotorezist işlemleri istenen aralıkta gerçekleşir; yumuşak ısıtma işlemleri eşit şekilde gerçekleşir, sert ısıtma işlemleri ise aşırı ısı üretmeden gerçekleşir. Böylece daha az yeniden işleme gerekiyor, daha az atık wafer oluyor ve boyut kontrolü daha iyi sağlanıyor.
Ayrıca bu sistem, gereksiz ısınmayı ortadan kaldırarak enerji tüketimini azaltır. İstenildiği zaman ısınır ve hızla soğur; böylece elektrik tüketimi düşerken üretim hızı korunur. Güvenilirlik açısından ise 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır; vericilerin ömrü takip edilerek sıcaklık değerleri standartlarda tutulur.
Planlamanız gerekenler
Kurulum için temiz bir güç kaynağı ve stabil bir montaj yüzeyi gereklidir. Verici dizisi hatalı hizalamaya karşı hassastır; eğer hizalama doğru yapılmazsa wafer kenarlarında küçük gölgelenme etkileri görülebilir. Dozajı belirlemek için kısa bir test yapın ve ardından ayarları kontrol planınıza kaydedin.
Hizalama yapıldıktan sonra işlem tekrarlanabilir hale gelir; ancak optik bileşenlerin ve termometrenin kalibrasyonu konusunda düzenli kontroller yapılması gerekmektedir.