Üretim alanında, fotoresistin ısıtılması sırasında meydana gelen 1°C’lik bir sıcaklık değişimi bile çizgi genişliğinde nanometre düzeyinde değişikliklere neden olabilir; bu da büyük miktarda ürünün atılmasına yol açar. Sıcaklığı kontrol altında tutmak önemlidir. Biz, sadece belirlenen değerlerde değil, aynı zamanda wafer üzerinde de kontrol sağlayacak şekilde OEM yarı iletken ısıtıcıları geliştirdik.
Önemli olanlar
Bu cihaz, kuvars gövdesi içinde kısa dalga boyulu kızılötesi ışık kaynakları kullanır; bu sayede hızlı ve stabil bir kontrol mümkün olur. Önemli olan parametre, wafer üzerindeki eşitlik derecesidir: Aktif bölgede ±0,1°C aralığında bir eşitlik sağlanır ve bu değerler yerinde ölçülür. Bu cihaz, parça üretimi sırasında herhangi bir partikül salmadan, Class 1–100 temiz odalarında çalışır. Çıkış tekrarlanabilirliği ise 24/7 çalışma koşullarında bile ±0,2% civarında kalır. Termal tepki ise fotoresistin yumuşak veya sert ısıtılması için özel olarak ayarlanmıştır. 200/300 mm boyutundaki waferler için kullanılabilir ve standart voltajlarla çalışır; ayrıca kompakt yapıya sahip olduğundan OEM ekipmanlarına uyumludur.
Neden üretimde başarılıdır?
Litografi ve paketleme hatlarında bu cihaz, ısıtma işlemlerini istenen seviyede tutar; böylece yeniden işlem yapma ihtiyacı ortadan kalkar. Yüksek eşitlik derecesi, waferler arası hataları azaltır ve dar nodlarda verimliliği artırır. İşlemler hızlı ve stabil olduğundan, her parti için gereken süre azalır. Temiz oda uyumlu tasarımı sayesinde parça sayısı azalır ve alarm sayısı da düşer. Enerji tüketimi ise hassas ışık kaynakları ve düşük termal kütle sayesinde optimize edilmiştir; bu da wafer başına maliyeti düşürür. Değiştirme zamanı geldiğinde, modülün montajı için işlem odasının sökülmesine gerek kalmaz; böylece plansız duruşlar azalır.
Dikkat edilmesi gerekenler
Yanlış ısıların optik bileşenlere ve polimerlere zarar vermemesi için uygun soketler ve koruma sistemleri gereklidir. Belirlenen eşitlik derecesine ulaşabilmek için bir ısınma süresi gereklidir; bunu bakım planlarına dahil etmek gerekir. En iyi sonuç için belirlenen voltaj aralıklarında çalışılmalı ve çevre sıcaklığı kontrol altında tutulmalıdır. Önemli OEM platformlarıyla entegrasyonu destekliyoruz; ancak kullanmadan önce pin dizilimi, montaj ve soğutma sistemlerini kendi ekipman ekibinizle değerlendirmeniz gerekmektedir.