ในกระบวนการอบแห้ง ค่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียง 0.2°C เท่านั้น และสารโฟโตรีเซิสต์ก็จะมีพฤติกรรมที่แตกต่างไป ส่งผลให้ความสม่ำเสมอของความหนาของชิ้นงานลดลง และมีความจำเป็นต้องทำการแก้ไขชิ้นงานซ้ำๆ ในกระบวนการลิโธกราฟีนั้น ความเสถียรทางความร้อนไม่ใช่เพียงแค่ปัจจัยที่สำคัญเท่านั้น แต่เป็นสิ่งที่จำเป็นต้องมีในกระบวนการผลิต
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบสุญญากาศของ Leybold โดยใช้องค์ประกอบอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ร่วมกับโครงสร้างที่ทำจากควอตซ์ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C ตลอดพื้นผิวการอบแห้ง ตัวเครื่องทำความร้อนถูกออกแบบมาให้มีความสมบูรณ์แบบในสภาพสุญญากาศ โดยมีส่วนประกอบที่เหมาะสม และมีการป้องกันไม่ให้มีก๊าซหรืออนุภาคออกมา นอกจากนี้ เรายังปรับค่าความต้านทานและรูปร่างของเครื่องให้เหมาะสม เพื่อให้ความหนาแน่นของพลังงานคงที่ตามแรงดันไฟฟ้าที่เครื่องใช้ และความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็อยู่ในขอบเขตที่กำหนดไว้สำหรับสารโฟโตรีเซิสต์ชนิดพิเศษ
เหตุผลที่เครื่องนี้สามารถใช้งานได้อย่างมีประสิทธิภาพในการผลิต เราใช้กระบวนการอบแห้งแบบสุญญากาศเพื่อควบคุมการกำจัดสารละลายและการไหลของสารโฟโตรีเซิสต์ ด้วยเครื่องนี้ ค่าอุณหภูมิจะคงที่ในทุกๆ รอบการอบแห้ง ทำให้สามารถควบคุมความหนาของชิ้นงานได้อย่างแม่นยำ และลดความเสี่ยงในการเกิดข้อบกพร่องได้ นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังสามารถใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ 1–100 เพราะวัสดุและส่วนประกอบต่างๆ ถูกเลือกมาเพื่อลดการเกิดอนุภาค และออกแบบมาให้มีความทนทานต่อความร้อน สิ่งนี้ช่วยให้มีความเสี่ยงน้อยลง และสามารถวางแผนการบำรุงรักษาได้อย่างมีประสิทธิภาพ
รายละเอียดที่ช่วยให้คุณไม่เจอปัญหา การเลือกเครื่องทำความร้อนที่เหมาะสมกับเครื่องอบแห้งนั้นมีความสำคัญมาก คุณต้องตรวจสอบประเภทของส่วนประกอบต่างๆ ก่อนที่จะถอดเครื่องเก่าออก เพื่อให้ค่าอุณหภูมิอยู่ในขอบเขตที่กำหนดไว้ นอกจากนี้ ควรมีเวลาสั้นๆ สำหรับการปรับตัวของเครื่องหลังจากการติดตั้ง เพื่อให้เครื่องสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ หลังจากนั้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะอยู่ในขอบเขตที่กำหนดไว้