บนพื้นที่ผลิต อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงไม่ได้แสดงออกด้วยไฟเตือน แต่จะแสดงเป็น CD ที่เลื่อนหลังการอบอ่อน เป็นปัญหาการวางตำแหน่งบนโปรไฟล์หลังอบแข็ง และเป็นของเสียที่ปรากฏหลังจากล็อตนั้นผ่านการเผาฟิล์มโฟโตเรซิสต์และใช้เวลาหมดแล้ว การควบคุมอุณหภูมิระดับเวเฟอร์ไม่ใช่สิ่งที่ควรมีเพิ่มเติม แต่เป็นส่วนหนึ่งของงบประมาณกระบวนการ
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
เราออกแบบระบบทำความร้อนในโรงงานโดยใช้โมดูลอินฟราเรดระยะใกล้ (NIR) และอินฟราเรดความยาวคลื่นกลางที่ออกแบบมาเฉพาะสำหรับการควบคุมความร้อนในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เป้าหมายคือความสม่ำเสมออุณหภูมิที่ระดับเวเฟอร์ ±0.1°C ตลอดทั้งชัคและผ่านชั้นโฟโตเรซิสต์ ระบบนี้ทำงานในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และเราได้ยืนยันว่าไม่มีการสร้างฝุ่นละอองโดยตรวจสอบด้วยการมอนิเตอร์แบบ in-situ และตรวจหา Defect ที่ปลายทาง
โปรไฟล์การอบโฟโตเรซิสต์ซ้ำได้ในแต่ละรอบเนื่องจากระบบความร้อนรักษาความเสถียรของค่าเซตพอยต์แม้ภายใต้ภาระงานที่เปลี่ยนแปลง รวมถึงเมื่อขนาดล็อตและขนาดเวเฟอร์มีการเปลี่ยนแปลง เป้าหมายการออกแบบคือความน่าเชื่อถือ 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดหมาย โดยได้รับการสนับสนุนจากระบบควบคุมซ้ำซ้อนและโมเดลการตรวจสอบสุขภาพของหลอดไฟ/ตัวปล่อยแสง
สาเหตุที่มีผลในกระบวนการลิโธกราฟี
ในระบบจัดการและโมดูลเคลือบ/อบ ความร้อนต้องตอบสนองต่อเคมีของเรซิสต์ ไม่ใช่แรงเฉื่อยของฮีตเตอร์ ความสม่ำเสมออุณหภูมิอย่างเข้มงวดช่วยลดความแปรผันของความกว้างเส้นและปกป้องการวางซ้อนโดยการรักษาประวัติความร้อนให้คงที่อย่างต่อเนื่องในเวเฟอร์แต่ละแผ่น การไม่มีการสร้างฝุ่นละอองช่วยให้ความหนาแน่นของข้อบกพร่องต่ำในชั้นที่มีลวดลาย
ผลตอบแทนคือการลดจำนวนล็อตที่ต้องทำใหม่ ลดการหยุดงานของวิศวกรรม และเวลารอบทำงานที่เป็นไปตามคาด การใช้พลังงานยังควบคุมได้อย่างเข้มงวดด้วยการเพิ่ม-ลดอุณหภูมิที่รวดเร็วและควบคุมเวลาคงที่อย่างแม่นยำ คุณจึงลดต้นทุนพลังงานความร้อนต่อเวเฟอร์โดยไม่สูญเสียความแม่นยำ
สิ่งที่ต้องวางแผน
การติดตั้งต้องเป็นไปแบบบูรณาการอย่างเข้มงวดกับระบบจัดการหรืโมดูลอบ เช่น ช่องว่างทางกล เส้นทางของน้ำหล่อเย็นและพลังงานไฟฟ้า และกลยุทธ์การระบายอากาศที่สอดคล้องกับกฎของห้องสะอาด ระบบจะทำงานได้ตามสเปคก็ต่อเมื่อสภาพชัคและการจัดตำแหน่งตัวสะท้อนแสงได้รับการดูแลตามตารางที่กำหนด
วางแผนการทดสอบคุณสมบัติระยะสั้น เพื่อทำแผนที่ความสม่ำเสมอตลอดเวเฟอร์ ยืนยันจำนวนฝุ่นละออง และล็อคโปรไฟล์การอบก่อนนำเข้าสู่สายการผลิตจริง