На производственной линии по изготовлению сенсоров недопустимы какие-либо отклонения в температуре. Даже один случай несоответствия параметров температуры уже может привести к снижению качества продукции ещё до завершения процесса литографии. Мы разработали инфракрасную систему контроля температуры, которая помогает устранить такие отклонения.
Что важно при работе с такой системой
Мы используем излучатели НИР-диапазона, настроенные на частоты поглощения света фотополимером. Благодаря этому тепло распределяется равномерно и без контакта с поверхностью кристалла. На всей площади зоны нагрева стабильность температуры составляет ±0,1°C. Повторяемость процесса обеспечивается за счет использования системы калибровки температуры прямо на поверхности кристалла. Корпус нагревателя выполнен из кварца и высокочистого керамического материала, поэтому при стабильной работе не образуются частицы. Система может работать в чистых помещениях класса 1–100 без увеличения количества частиц в воздухе. Температурный профиль остается стабильным между отдельными партиями продукции. Плотность мощности регулируется так, чтобы не нарушаться тепловые параметры тонких слоев. Время реакции системы минимально, что позволяет сохранять высокую скорость производства без необходимости ожидания стабилизации температуры.
Почему это подходит для производства сенсоров
При производстве сенсоров используются тонкие слои и хрупкие элементы, поэтому любые отклонения в температуре недопустимы. Благодаря этой инфракрасной системе процесс обработки фотополимера происходит в заданных пределах: происходит равномерное высыхание слоев, а также их прочное затвердевание без перегрева. Это позволяет сократить количество бракованных изделий и обеспечить точный контроль размеров изделий.
Кроме того, эта система снижает расход энергии, поскольку нагреваетсь только по мере необходимости и быстро охлаждается. Это позволяет сократить потребление энергии при сохранении высокой скорости производства. Надежность системы обеспечивается за счет постоянного контроля условий работы излучателей, что позволяет поддерживать температуру в заданных пределах.
Что необходимо учитывать при использовании системы
Для корректной работы системы требуется чистое источник питания и стабильная поверхность для крепления излучателей. Излучатели чувствительны к несоосности, поэтому при ее наличии на краях кристалла могут возникнуть небольшие зоны с низкой температурой. Необходимо провести краткую проверку для настройки параметров, а затем закрепить их в программе управления. После настройки процесс становится повторяемым, но все же требуется регулярная проверка оптических элементов и калибровки пирометра.