Как максимально использовать тепло для промывки вафер
При промывке вафер главной проблемой обычно является тепло. Необходимо, чтобы тепло попадало именно на поверхность вафер, но часто энергия тратится впустую на нагрев корпуса оборудования. Это очень раздражает.
Чтобы решить эту проблему, мы используем водонепроницаемые инфракрасные лампы в сочетании с отражателями, покрытыми золотом. Цель проста: не допустить утечки энергии и направить её именно туда, где она нужна.
Почему именно золото?
Большинство людей использует алюминиевые отражатели, но они поглощают слишком много энергии. Золото же отличается тем, что отлично отражает инфракрасные волны.
Представьте себе разницу между слабым светом и лазером. Вместо распыления тепла во все стороны, золотое покрытие направляет энергию прямо на кремний. Таким образом можно быстрее достичь нужной температуры, без необходимости повышения напряжения. Это делает процесс более эффективным.
Как справиться с проблемой влажности
Давайте будем честны — станции промывки всегда влажные. Если вода попадает в электронику, все перестает работать.
Мы разработали лампы, способные справляться с влажностью. Герметичные уплотнители предотвращают попадание воды к электродам, так что не нужно беспокоиться о коротком замыкании во время работы оборудования. Это приносит дополнительное спокойствие.
Некоторые моменты, на которые следует обратить внимание
Поскольку тепло сосредотачивается в одной точке, необходимо точно контролировать расстояние между лампами и поверхностью вафер. Если лампы находятся слишком близко, это может привести к повреждению краев вафер. Рекомендуется потратить немного времени на настройку расстояния между отражателем и поверхностью вафер, чтобы избежать лишних проблем. Также убедитесь, что система охлаждения сможет справиться с дополнительной тепловой нагрузкой.
Самое лучшее — это то, что эти лампы можно заменить на старые инфракрасные лампы. Это позволяет снизить энергопотребление и избежать чрезмерных расходов на электроэнергию. Просто убедитесь, что мощность блока питания соответствует требованиям ламп, чтобы они не выгорели слишком быстро.