Na linha de produção, uma variação de 0,5°C na temperatura da placa quente durante o processo de secagem do fotoreagente é suficiente para comprometer o controle da largura das linhas, fazendo com que o produto final seja inviável. É necessário ter um sistema de medição de temperatura que siga o valor definido – e não apenas os pontos mais quentes do aquecedor.
O que é importante, tecnicamente:
Nós fabricamos termopares para aquecedores de semicondutores, com o objetivo de manter a uniformidade térmica no nível da wafer em torno de ±0,1°C, além de garantir repetibilidade entre diferentes lotes de produção. A junta sensora fica exatamente onde a wafer realmente sente a temperatura, e não onde há pontos mais quentes no aquecedor.
O sistema é projetado para ser utilizado em salas limpas de classe 1–100: ele não gera partículas indesejadas e consegue suportar ciclos térmicos repetidos. A saída do sistema permanece estável mesmo durante operações contínuas, o que elimina paradas não planejadas e permite intervalos de manutenção previsíveis.
Por que isso funciona na litografia:
Na litografia, o módulo de secagem precisa alcançar temperaturas específicas com precisão. Nosso termopar mantém o perfil térmico preciso, o que reduz as variações na largura das linhas, melhora a qualidade do fotoreagente e diminui o desperdício de materiais.
Um controle mais preciso também acelera os ciclos de qualificação e reduz o consumo de energia, evitando superaquecimento. Isso resulta em maior taxa de produção, menos retrabalhos e maior disponibilidade dos equipamentos.
O que é necessário para que funcione bem:
A tolerância de instalação é muito baixa: a sonda deve ficar na profundidade correta e alinhada com o plano da wafer. Desalinhamento ou mau contato térmico podem prejudicar a uniformidade térmica e causar variações indesejadas.
O sistema funciona com a maioria das plataformas de aquecimento, mas, em muitos casos, é necessário usar suportes e conectores personalizados. Indique o modelo do aquecedor e a faixa de temperatura desejada, para que possamos selecionar o material da envoltória, o isolamento e a curva de calibração adequados ao seu perfil térmico.