Na linha de montagem de sensores inteligentes, as linhas de embalagem não podem tolerar variações térmicas. Um processo de aquecimento inadequado ou pontos quentes durante o processo podem causar problemas, fazendo com que a produtividade diminua antes mesmo que a litografia termine. Por isso, criamos uma plataforma térmica a infravermelhos para eliminar essas variações.
O que é importante por trás disso tudo Usamos emissores de luz NIR ajustados para a absorção do fotoreagente, de modo que o calor seja aplicado de forma rápida e sem contato direto com o material. Em toda a área de aquecimento, a uniformidade da temperatura ao nível dos wafer fica entre ±0,1°C. A repetibilidade é garantida pela medição precisa da temperatura no próprio plano do substrato. O corpo do aquecedor é feito de quartzo e cerâmica de alta pureza, então não há geração de partículas durante o funcionamento. O dispositivo funciona em salas limpas de classe 1–100, sem aumentar a quantidade de partículas no ar. Além disso, o perfil térmico permanece consistente de lote em lote. A densidade de energia é controlada para respeitar os limites térmicos dos filmes finos, e o tempo de resposta é suficiente para manter a produtividade – sem necessidade de espera pelo equilíbrio térmico.
Por que isso é útil para a embalagem de sensores inteligentes Trata-se de filmes finos e estruturas delicadas, onde não há espaço para erros. Com essa tecnologia de aquecimento a infravermelhos, o processamento do fotoreagente acontece dentro dos limites esperados: os processos de aquecimento são uniformes, e os materiais endurecem sem exceder os limites permitidos. Isso resulta em menos retrabalhos, menos wafer descartados e controle preciso das dimensões críticas.
A plataforma também reduz o consumo de energia, pois não fica em estado de aquecimento constante. Ela aquece apenas quando necessário e esfria rapidamente, reduzindo assim o consumo energético, enquanto mantém o tempo de ciclo otimizado. A confiabilidade do dispositivo é garantida para operação contínua, com monitoramento da vida útil dos emissores e compensações necessárias para manter a temperatura dentro dos limites esperados.
O que você precisa planificar A instalação requer uma fonte de energia estável e uma superfície de fixação firme. Os emissores são sensíveis a desalinhamentos, e se houver algum erro, pode haver um efeito de sombreamento nas bordas dos wafer. É necessário realizar testes preliminares para definir as configurações corretas, e depois fixar essas configurações no plano de controle.
Uma vez alinhados, os processos se tornam repetíveis. No entanto, é preciso realizar verificações regulares na calibração dos ópticos e do pirômetro.