Dlaczego rezygnujemy z gorącego powietrza na rzecz podczerwienia w procesie produkcji półprzewodników
Bądźmy szczerymi: czekanie, aż komora się nagrzeje, to najgorsza część tej pracy. Gdy polegamy na gorącym powietrzu, po prostu siedzimy i czekamy, aż powietrze stanie się wystarczająco gorące, aby móc coś zrobić z elementem, który obrabiamy. To ogromny problem.
Dlatego przeszliśmy na ogrzewanie podczerwienią.
Prosto mówiąc: gorące powietrze działa wolno, ponieważ musi się poruszać. Najpierw nagrzewamy powietrze, a potem ono nagrzewa element, który obrabiamy. To system pośredniczący. Podczerwień eliminuje ten pośrednik – wykorzystuje promieniowanie elektromagnetyczne, aby bezpośrednio oddziaływać na materiał.
To szybkie. Naprawdę szybkie. Czas potrzebny na nagrzanie spada z kilku minut do zaledwie kilku sekund.
Ale nie wystarczy po prostu umieścić lampę grzewczą w obudowie i mieć to za załatwione. Aby to zadziałało w warunkach przemysłowych, obudowa musi być odpowiednia. My używamy wysokiej jakości stali nierdzewnej, a także poświęcamy dużo czasu na szlifowanie i pokrywanie wewnętrznych powierzchni. Dlaczego? Ponieważ chcemy, aby fale podczerwone odbijały się od celu, zamiast rozchodzić się po całej obudowie.
Najlepsze jest to, że te obudowy mogą zastąpić stare, niewygodne wentylatory konwekcyjne. Dzięki temu zajmują mniej miejsca i mają znacznie mniej ruchomych elementów. Ponadto, ponieważ nie ma tu wentylatorów, nie musimy się martwić o wibracje ani o pył, który może dotknąć elementu, który obrabiamy. To po prostu czystsze rozwiązanie.
Oczywiście to nie jest magia – istnieją kilka rzeczy, które trzeba wziąć pod uwagę. Podczerwień zapewnia doskonałą gęstość ciepła, ale jej działanie jest ograniczone do linii wzroku – ogrzewa tylko to, co może „zobaczyć”. Jeśli element ma dziwny kształt lub coś blokuje światło, powstaną obszary chłodne.
Wtedy właśnie dochodzi do prawdziwej pracy inżynierskiej – musimy dostosować ustawienia lamp i reflektorów tak, aby ciepło było rozkładane równomiernie. Jeśli po prostu zwiększymy intensywność światła bez odpowiedniego zabezpieczenia, можемy uszkodzić materiał lub uszczelki.
Wymaga to trochę więcej precyzji, ale gdy już wszystko zostanie ustalone, nie będziecie chcieli wracać do metody opartej na gorącym powietrzu.