Na linii produkcyjnej wzrost temperatury o 1°C podczas procesu wysuszania fotorezystu wystarczy, aby szerokość linii zmieniła się o kilka nanometrów – a to oznacza dużą ilość materiału, który trzeba wyrzucić. Nie należy dążyć do maksymalnej temperatury, lecz utrzymywać ją na określonym poziomie. Stworzyliśmy element grzewczy przeznaczony do użycia w urządzeniach OEM, który umożliwia precyzyjną kontrolę temperatury na poziomie płytki krzemowej, a nie tylko na poziomie ustalonego punktu temperatury.
Co jest istotne w tym urządzeniu Element ten wykorzystuje emitory halogenowe pracujące w zakresie krótkich fal podczerwonych, zamontowane w korpusie z kwarcu. Dzięki temu tempo zmiany temperatury jest szybkie, a kontrola temperatury jest dokładna. Ważna jest jednolitość temperatury na całej powierzchni płytki krzemowej – ±0,1°C, mierzone bezpośrednio na miejscu. Urządzenie nadaje się do pracy w salach czystych klasy 1–100, bez tworzenia dodatkowych cząstek. Powtarzalność wyników jest na poziomie ±0,2%, nawet przy ciągłej pracy 24/7. Odpowiedź termiczna jest dostosowana specjalnie do profilów obróbki fotorezystu. Urządzenie może być używane z płytkami o rozmiarach 200/300 mm, przy standardowych napięciach, a jego kompaktowa budowa pasuje do obudów urządzeń OEM.
Dlaczego urządzenie zachowuje swoje właściwości w produkcji W liniach litograficznych i pakowania ten element zapewnia precyzyjne utrzymywanie profilu temperatury, dzięki czemu unika się konieczności poprawek. Wysoka jednolitość temperatury zmniejsza błędy pomiędzy poszczególnymi częściami płytki krzemowej, co przyczynia się do lepszej jakości produktu. Procesy są szybkie i stabilne, co skraca czas potrzebny na obróbkę partii produktów. Design urządzenia odpowiada wymaganiom sal czystych, co zmniejsza liczbę cząstek w powietrzu – mniej konieczności czyszczenia i mniej alarmów. Zużycie energii jest optymalizowane dzięki precyzyjnemu dopasowaniu emitorów oraz małej masie cieplnej, co zmniejsza koszt jednostkowy płytki krzemowej. Gdy przychodzi czas na wymianę urządzenia, można to zrobić bez konieczności demontażu komory produkcyjnej, co zmniejsza czas przerwy w produkcji.
Na co należy zwrócić uwagę Konieczne są odpowiednie gniazda i izolacja, aby ciepło nie wpływało negatywnie na elementy optyczne i polimery. Istnieje okres rozgrzewki przed osiągnięciem ustalonej jednolitości temperatury – należy to uwzględnić w planie konserwacji. Aby uzyskać najlepszą stabilność, należy przestrzegać określonego zakresu napięcia oraz kontrolować temperaturę otoczenia. Podporządkowujemy się wymaganiom najważniejszych platform OEM, ale przed wprowadzeniem urządzenia do użytku konieczna jest weryfikacja jego montażu i systemu chłodzenia przez zespół obsługujący sprzęt.