Jak ususzyć płytki MEMS bez żadnych problemów
Ususzanie płytek z czujnikami MEMS to naprawdę delikatna operacja. Trzeba, aby płyn do spłukiwania szybko zniknął, ale jeśli nie będziemy ostrożni, mogą pojawić się plamy wody – a co gorsza, może dojść do uszkodzeń mechanicznych, które zniszczą całą partię płytek.
Dlatego używamy grzałek podczerwieni zaprojektowanych specjalnie do tego celu. Zamiast ogrzewać tylko powietrze, one bezpośrednio oddziałują na powierzchnię płytki. Dzięki temu wilgoć jest usuwana szybko, zanim napięcie powierzchniowe zdąży połączyć delikatne struktury MEMS i je uszkodzić.
Aspekt cieplny
Staramy się osiągnąć wysoką moc grzewczą na jednostkę długości. Dlaczego? Ponieważ chcemy, aby płytka osiągnęła temperaturę parowania w ciągu sekund, a nie minut. Jeśli proces suszenia będzie trwał zbyt długo, to doprowadzi to do kontaminacji płytek.
Ale tu jest haczyk: wysoka gęstość ciepła może być dwulicowa. Trzeba umiejętnie sterować temperaturą. Jeśli nagle zmienimy jej wartość, cienkie membrany na czujnikach mogą się pęknąć. Ważna jest właśnie ta krzywa temperatury.
Kwarc i problem „otwartych elementów”
Aby utrzymać stabilność, umieszczamy filamenty w kwarcu o wysokiej czystości. To jedyny sposób na radzenie sobie z dużymi wahaniami temperatury bez uszkodzenia całej konstrukcji.
Ponadto pokrywamy filamenty specjalną powłoką. Dzięki temu energia jest skierowana bezpośrednio na płytkę, a nie tylko na ścianki komory. To sprawia, że ciepło pozostaje tam, gdzie powinno być. Dodatkowo używamy standardowych złączy, więc gdy przyjdzie czas na konserwację, można je łatwo wymienić i kontynuować pracę.
Brak miejsca na błędy
W pomieszczeniach o czystym środowisku jeden tylko iskra elektryczna może zniszczyć całą partię płytek. Dlatego nie możemy niczego przypuszczać. Każda grzałka, którą wysyłamy, przechodzi testy wytrzymałości dielektrycznej i odporności izolacyjnej. Sprawdzamy też jej maksymalne wartości napięcia, aby mieć pewność, że nie ma żadnych wycieków prądu. Awaria w terenie jest po prostu niemożliwa.
Ostatnia rada: upewnij się, że zasilacz pasuje do impedancji grzałki. Jeśli nie pasują, albo efektywność grzejnika będzie słaba, albo filamenty szybko się przegrzeją.