Op de productielijn kunnen intelligente sensoren geen enkele thermische afwijking tolereren. Eén enkele onnauwkeurige verhitting kan al ertoe leiden dat de kwaliteit van de producten verminderd. We hebben een infraroodthermische platform ontwikkeld om deze variabiliteit uit te sluiten.
Wat belangrijk is onder het oppervlak We gebruiken NIR-emitters die zijn afgestemd op de absorptie van het fotoresistmiddel. Hierdoor wordt de warmte snel en contactloos overgedragen. In het gebied waar de wafers worden verhit, blijft de uniformiteit op een niveau van ±0,1°C. De herhaalbaarheid wordt gewaarborgd door gebruik te maken van een sluitingslooppyrometrie rechtstreeks op het substraatoppervlak. Het verwarmingsapparaat is gemaakt van kwarts en hoge-kwaliteitsceramiek, zodat er geen deeltjes worden gegenereerd tijdens het proces. Het apparaat kan worden gebruikt in schoonruimten van klasse 1–100, zonder dat de concentratie aan deeltjes toeneemt. Het thermische profiel blijft consistent van lote tot lote. De stroomdichtheid wordt zo geregeld dat de thermische behoeften van de dunne films worden voldaan. De reactietijd blijft kort, zodat er geen tijdverlies is door langdurig wachten op het bereiken van de optimale temperatuur.
Waarom het geschikt is voor de verpakking van intelligente sensoren Je werkt met dunne films en gevoelige onderdelen, waarbij er nauwelijks ruimte is voor fouten. Met dit infraroodverwarmingsapparaat blijft het verwerken van het fotoresistmiddel binnen de gewenste parameters: zachte verhittingsprocedures die gelijkmatig werken, en harde verhittingsprocedures die zonder problemen kunnen worden uitgevoerd. Hierdoor zijn er minder herwerkingen nodig, minder afvalwafern, en blijft de controle over de precisie van de producten optimaal.
Het apparaat bespaart ook energie, omdat het alleen wordt gebruikt wanneer dat nodig is. Het kan snel worden opgewarmd en afgekoeld, zodat de energieverbruiksnormen worden gehandhaafd. De betrouwbaarheid van het apparaat is hoog, dankzij regelmatige controles op de emitters en de kalibratie van de pyrometer.
Wat je moet planningen Voor de installatie is een stabiele stroomvoorziening en een stevig montagesysteem nodig. De emitters zijn gevoelig voor oneffenheden; als deze er zijn, kan dit leidden tot kleine schaduwen op de randen van de wafers. Voer eerst een korte test uit om de juiste instellingen vast te stellen, en bepaal vervolgens de gewenste parameters in je controleplan.
Zodra alles goed is ingesteld, is het proces herhaalbaar. Toch is het belangrijk om regelmatig controles uit te voeren op de optica en de kalibratie van de pyrometer.