Di bilik pengeluaran cip pintar ini, barisan pakej sensor pintar tidak boleh bertoleransi terhadap perubahan suhu yang berlaku semasa proses pembakaran. Jika proses pembakaran berlangsung di luar spesifikasi yang ditetapkan, atau jika terdapat kawasan yang terlalu panas, maka kualiti hasil pengeluaran akan menurun sebelum proses litografi selesai. Kami telah membina platform termal inframerah untuk mengatasi masalah ini.
Apa yang penting dalam proses ini
Kami menggunakan pemancar NIR yang disesuaikan agar haba dapat sampai ke permukaan wafer dengan cepat dan tanpa kontak fizikal. Di kawasan pembakaran, keseragaman suhu pada peringkat wafer adalah sekitar ±0.1°C. Repeatabiliti pula dipastikan melalui penggunaan alat pengukur suhu yang canggih. Badan pemanas diperbuat daripada kuarsa dan seramik berkualiti tinggi, jadi tiada zarah yang dihasilkan semasa proses pembakaran. Platform ini boleh beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100 tanpa meningkatkan jumlah zarah yang ada. Profil suhu juga kekal konsisten dari satu kumpulan produk ke kumpulan produk yang lain. Ketumpatan tenaga juga dikawal supaya sesuai dengan keperluan proses pembakaran lapisan nipis. Masa tindak balas pula memastikan proses berjalan lancar, tanpa perlu menunggu masa yang lama untuk suhu mencapai tahap yang diinginkan.
Mengapa ia sesuai untuk pakej sensor pintar
Proses ini melibatkan penggunaan lapisan nipis dan komponen yang sangat sensitif. Dengan platform termal inframerah ini, proses pembakaran dapat berlangsung dengan sempurna. Proses pembakaran yang lembut akan membuat lapisan fotoresist kering secara merata, manakala proses pembakaran yang intensif akan membuat lapisan tersebut mengeras tanpa melebihi batas yang ditetapkan. Hasilnya, jumlah semula yang diperlukan berkurangan, begitu juga dengan jumlah wafer yang rosak. Selain itu, kawalan dimensi juga menjadi lebih baik.
Platform ini juga membantu mengurangkan penggunaan tenaga, kerana ia hanya memanaskan wafer apabila diperlukan sahaja. Suhu juga dapat dikawal dengan baik, jadi penggunaan tenaga akan berkurangan. Kebolehpercayaan platform ini pula sangat tinggi, kerana ia direka untuk beroperasi 24/7. Umur pemancar juga dipantau dan dikawal agar suhu tetap berada dalam julat yang ditetapkan.
Apa yang perlu dirancang
Untuk memasang platform ini, diperlukan sumber tenaga yang stabil serta permukaan yang stabil untuk meletakkannya. Pemancar NIR ini sangat sensitif terhadap penyimpangan posisi. Jika ada penyimpangan, ia akan menyebabkan kesan bayangan pada tepi wafer. Lakukan ujian awal untuk menetapkan parameter yang sesuai, kemudian tetapkan nilai-nilai tersebut dalam rancangan kawalan anda.
Setelah diselaraskan, proses ini boleh diulang-ulang. Namun, adalah penting untuk melakukan pemeriksaan berkala terhadap komponen optik dan alat pengukur suhu.