웨이퍼 공정용 온도 센서

왜 웨이퍼 가공 공정에서 열공기 대신 적외선을 사용하는가? 반도체의 정밀 가공 속도를 높이고 싶다면, 어디서 시간이 낭비되는지 살펴보아야 합니다. 많은 경우, 그 병목 요소는 바로 가열 과정입니다. 구식 장비들은 열공기를 이용해 가열합니다. 이 방식은 매우 느립니다....