웨이퍼 세척 시 열을 최대한 효과적으로 활용하는 방법
웨이퍼를 세척할 때 가장 큰 문제는 바로 열입니다. 웨이퍼 표면에 열이 제대로 전달되어야 하지만, 대부분의 경우 기계의 케이스가 과도하게 가열되어 에너지가 낭비됩니다. 이는 매우 답답한 상황입니다.
이 문제를 해결하기 위해, 우리는 방수 처리된 적외선 램프와 금으로 코팅된 반사체를 함께 사용합니다. 목표는 간단합니다. 에너지가 새어 나가지 않도록 하고, 필요한 곳에만 에너지가 전달되도록 하는 것입니다.
왜 금인가?
대부분의 사람들은 알루미늄 반사체를 사용하지만, 그 경우 에너지가 너무 많이 흡수됩니다. 반면 금은 적외선을 효과적으로 반사시킬 수 있습니다. 마치 희미한 빛과 레이저의 차이와 같습니다. 넓은 영역에 열이 퍼지는 대신, 금층이 에너지를 직접 실리콘 표면으로 보냅니다. 그래서 목표 온도에 더 빨리 도달할 수 있으며, 전압을 높일 필요도 없습니다. 훨씬 효율적입니다.
습기 문제 해결
솔직히 말해서, 세척 장비는 항상 습합니다. 물이 전자 부품에 들어가면 모든 것이 멈춰버립니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 특별한 램프를 설계했습니다. 밀폐 구조 덕분에 물이 전극에 닿지 않아, 고속 생산 중에 단락이 발생할 걱정이 없습니다. 이렇게 하면 안심할 수 있습니다.
주의해야 할 점들
열이 매우 집중되기 때문에, 램프의 위치에 조금 더 주의해야 합니다. 램프가 너무 가까이 있다면 웨이퍼의 가장자리가 손상될 수 있습니다. 반사체와 기판 사이의 거리를 잘 조절하여 불필요한 열이 발생하지 않도록 하는 것이 좋습니다. 또한, 챔버 벽에서 반사된 열을 감당할 수 있는 냉각 시스템이 필요합니다.
가장 좋은 점은, 이 램프들은 기존의 IR 램프를 대체할 수 있다는 것입니다. 그래서 에너지 비용을 줄이고, 전력 요금을 절약할 수 있습니다. 다만, 전원 공급 장치의 와트 수가 적절한지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 램프가 과열되어 고장날 수 있습니다.