Nelle linee di produzione per sensori intelligenti, le linee di confezionamento basate su sensori intelligenti non possono tollerare alcuna variazione termica. Un processo di cottura non perfetto, o un punto caldo durante il processo di cottura, può causare problemi già prima che la litografia abbia termine. Abbiamo creato una piattaforma termica a infrarossi per eliminare queste variazioni.
Cosa è importante sotto il profilo tecnico
Utilizziamo emettitori a infrarossi regolati in modo da coincidere con la banda di assorbimento del fotorestante; in questo modo il calore viene distribuito rapidamente e senza contatto diretto con il substrato. Nella zona di cottura, l’uniformità della temperatura sulle singole wafer è di ±0,1°C; inoltre, la ripetibilità dei risultati è garantita grazie alla utilizzo di sistemi di misurazione termica a circuito chiuso direttamente sul piano del substrato. Il corpo riscaldante è realizzato in quarzo e ceramica ad alta purezza, quindi non vengono generate particelle durante il funzionamento. La piattaforma può funzionare in ambienti puliti di classe 1–100, senza che aumenti il numero di particelle presenti nell’ambiente; inoltre, il profilo termico rimane costante da un lotto all’altro. La densità di potenza viene gestita in modo da rispettare i requisiti termici dei film sottili, mentre il tempo di risposta garantisce che il processo proceda senza interruzioni.
Perché è adatta per la produzione di sensori intelligenti
Si tratta di processi che richiedono l’uso di film sottili e componenti estremamente delicati; non c’è spazio per errori. Con questa piattaforma a infrarossi, il trattamento del fotorestante avviene correttamente: i processi di cottura avvengono in modo uniforme, e i materiali vengono induriti senza superare i limiti consentiti. I vantaggi sono riduzione dei rielaborazioni, diminuzione dei materiali sprecati e un controllo preciso delle dimensioni dei componenti.
Inoltre, la piattaforma riduce il consumo energetico, poiché il riscaldamento avviene solo quando necessario e il raffreddamento avviene rapidamente. La affidabilità è garantita 24/7, grazie al monitoraggio della durata degli emettitori e alla regolazione automatica della temperatura.
Cosa bisogna tenere in considerazione per l’installazione
L’installazione richiede una fonte di alimentazione stabile e un piano di fissaggio preciso. Gli emettitori sono sensibili a eventuali disallineamenti; se ci sono errori, si possono verificare effetti negativi ai bordi delle wafer. È necessario effettuare una breve prova per impostare correttamente i parametri di funzionamento, dopodiché tali parametri devono essere memorizzati nel sistema di controllo.
Una volta allineata, la piattaforma permette di effettuare processi ripetibili, ma è comunque necessario effettuare controlli regolari sugli elementi ottici e sulla calibrazione del pirometro.