Di area produksi, perubahan suhu sebesar 0,5°C pada piring pemanas selama proses pengeringan fotoresist merupakan faktor yang dapat merusak kontrol ketebalan garis-garis pada permukaan wafer, sehingga menyebabkan produk menjadi tidak dapat digunakan. Diperlukan alat pengukur suhu yang mampu mengikuti nilai suhu yang ditetapkan, bukan hanya mengikuti titik panas pada pemanas tersebut.
Apa yang penting secara teknis? Kami membuat termokopel khusus untuk pemanas semikonduktor, agar keseragaman suhu di permukaan wafer tetap berada dalam rentang ±0,1°C. Termokopel ini dipasang di tempat yang benar-benar bersentuhan dengan permukaan wafer, bukan di tempat yang paling panas pada pemanas tersebut.
Sistem ini dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100; sistem ini tidak akan menciptakan partikel-partikel yang bisa merusak wafer, dan mampu bertahan melalui siklus pemanasan yang berulang-ulang. Keluaran suhu tetap stabil meski sistem beroperasi 24/7, sehingga tidak ada waktu henti yang tak terduga, dan interval perawatan pun dapat diprediksi.
Mengapa hal ini efektif dalam proses litografi? Dalam proses litografi, modul pemanasan harus mampu mencapai suhu yang tepat dengan batas toleransi yang ketat. Termokopel kami membantu menjaga stabilitas suhu, sehingga variasi ketebalan garis pada permukaan wafer berkurang, kualitas fotoresist pun meningkat, dan jumlah produk yang gagal berkurang.
Kontrol yang lebih baik juga mempersingkat waktu penyesuaian sistem, serta mengurangi penggunaan energi. Hasilnya adalah tingginya tingkat kelulusan produk, sedikitnya proses perbaikan, dan waktu operasional peralatan yang dapat direncanakan dengan lebih baik.
Apa yang perlu diperhatikan saat pemasangan? Toleransi pemasangan harus sangat ketat: probe harus berada pada kedalaman yang ditentukan dan sejajar dengan bidang wafer. Kesalahan posisi atau kontak termal yang buruk akan merusak keseragaman suhu dan menyebabkan perubahan suhu yang tidak diinginkan.
Sistem ini compatible dengan sebagian besar platform pemanas, namun seringkali diperlukan braket dan konektor khusus untuk pemasangan. Sebutkan model pemanas serta rentang suhu proses Anda, agar kami dapat memilih bahan pelindung, isolator, dan kurva kalibrasi yang sesuai dengan profil suhu Anda.