फैब्रिकेशन लाइनों पर, स्मार्ट सेंसरों के पैकेजिंग प्रक्रम में तापीय विचलनों को सहन नहीं किया जा सकता। अगर कोई वेफर निर्धारित मानों से थोड़ा भी अलग हो जाए, तो उत्पादन प्रक्रिया में बाधा आ जाती है। हमने ऐसी समस्याओं को दूर करने हेतु इन्फ्रारेड थर्मल प्लेटफॉर्म विकसित किया है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम NIR एमिटरों का उपयोग करते हैं; ऐसे एमिटरों का उपयोग फोटोरेसिस्ट के अवशोषण हेतु किया जाता है। इससे ऊष्मा तेज़ी से एवं बिना किसी संपर्क के ही वेफर तक पहुँचती है। वेफरों पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C तक रहती है, एवं बंद-लूप पायरोमेट्री के द्वारा तापमान को नियंत्रित किया जाता है। हीटर का निर्माण क्वार्ट्ज एवं उच्च-शुद्धता वाली सिरेमिक सामग्री से किया गया है; इसलिए स्थिर अवस्था में कोई कण नहीं उत्पन्न होते। यह प्लेटफॉर्म क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी काम कर सकता है, एवं तापीय प्रोफ़ाइल हर बार समान ही रहती है। ऊर्जा घनत्व को नियंत्रित किया जाता है, ताकि पतली फिल्मों पर कोई प्रभाव न पड़े। प्रतिक्रिया समय भी नियंत्रित रहता है, इसलिए इंतज़ार करने की आवश्यकता नहीं है।
यह स्मार्ट सेंसरों के पैकेजिंग हेतु क्यों उपयुक्त है?
यहाँ पतली फिल्में, नाजुक सतहें आदि होती हैं; ऐसी स्थितियों में कोई भी तापीय विचलन स्वीकार्य नहीं है। इन्फ्रारेड थर्मल प्लेटफॉर्म के उपयोग से फोटोरेसिस्ट का प्रसंस्करण सही तरीके से होता है – नरम बेकिंग में वेफर समान रूप से सूख जाता है, एवं कठोर बेकिंग में वेफर अतिरिक्त गर्मी के बिना ही कठोर हो जाता है। इससे पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं वेफरों का नुकसान भी कम हो जाता है।
ऊर्जा उपयोग में क्या बचत होती है?
यह प्लेटफॉर्म अनावश्यक ऊर्जा उपयोग को कम करता है। यह आवश्यकता के अनुसार ही गर्म होता है, एवं जल्दी ही ठंडा भी हो जाता है। इससे ऊर्जा खपत कम हो जाती है, जबकि प्रक्रिया का समय वैसा ही रहता है। इसकी विश्वसनीयता 24/7 के लिए ही है; एमिटरों की जीवन-अवधि की निगरानी की जाती है, ताकि तापमान निर्धारित मानों पर ही रहे।
क्या योजना बनाने की आवश्यकता है?
इसकी स्थापना हेतु स्वच्छ ऊर्जा स्रोत एवं स्थिर सपोर्ट सतह आवश्यक है। एमिटर असंरेखण के प्रति संवेदनशील हैं; अगर असंरेखण हो जाए, तो वेफरों के किनारों पर छाया जैसा प्रभाव दिखाई देगा। पहले ही एक छोटा परीक्षण करके सेटिंग्स निर्धारित कर लेनी चाहिए।
एक बार संरेखण हो जाने के बाद…
प्रक्रिया दोहराई जा सकती है – लेकिन ऑप्टिक्स एवं पायरोमीटर के कैलिब्रेशन हेतु नियमित जाँच आवश्यक है।