अपने वेफरों को धोते समय ऊष्मा का उपयोग ठीक से करना बहुत ही महत्वपूर्ण है। वेफरों की सतह पर ऊष्मा सही तरीके से पहुँचनी आवश्यक है; लेकिन अक्सर मशीन के चेसिस को गर्म करने में ही बहुत ऊर्जा खर्च हो जाती है। यह बहुत ही निराशाजनक है।
इस समस्या को दूर करने हेतु, हम वॉटरप्रूफ इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं, जिनमें सोने से ढके रिफ्लेक्टर भी होते हैं। इसका उद्देश्य ऊर्जा के लीक होने को रोकना एवं उसे सीधे वांछित स्थान पर पहुँचाना है।
सोने का उपयोग क्यों?
ज्यादातर लोग एल्यूमिनियम रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं; लेकिन वे बहुत अधिक ऊर्जा अवशोषित कर लेते हैं। सोना इस मामले में बेहतर है – यह इन्फ्रारेड तरंगों को वापस भेजने में बहुत ही प्रभावी है।
इसे धीमी रोशनी एवं लेजर के बीच के अंतर के रूप में समझ सकते हैं। सोने की परत के कारण ऊर्जा सीधे सिलिकॉन पर ही पहुँचती है; इससे आप जल्दी ही वांछित तापमान तक पहुँच जाते हैं, एवं वोल्टेज बढ़ाने की आवश्यकता भी नहीं पड़ती। यह बहुत ही कुशल तरीका है।
नमी से निपटना
वास्तव में, धोने की प्रक्रिया में वहाँ नमी ही होती है। यदि पानी इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों में जाए, तो सब कुछ रुक जाता है।
हमने ऐसे लैंप बनाए हैं, जो नमी को रोकने में मदद करते हैं। इन लैंपों में अच्छी तरह से सील लगी होती है, जिससे पानी इलेक्ट्रोडों तक नहीं पहुँच पाता। इससे आपको हाई-थ्रूपुट प्रक्रिया के दौरान किसी भी समस्या की चिंता करने की आवश्यकता नहीं पड़ती।
कुछ बातें ध्यान में रखें
चूँकि ऊष्मा बहुत ही केंद्रित होती है, इसलिए लैंपों की स्थिति का ध्यान रखना आवश्यक है। यदि लैंप बहुत ही नजदीक हों, तो वेफरों के किनारे जल सकते हैं। मैं सलाह देता हूँ कि रिफ्लेक्टर एवं सब्सट्रेट के बीच की दूरी को सही रखें, ताकि ऐसी समस्याओं से बचा जा सके। साथ ही, यह भी सुनिश्चित करें कि आपकी कूलिंग प्रणाली चैंबर की दीवारों से परावर्तित होने वाली अतिरिक्त ऊष्मा को संभाल सके।
सबसे अच्छी बात यह है कि ये लैंप आसानी से बदले जा सकते हैं। आप अपने पुराने इन्फ्रारेड लैंपों को बदल सकते हैं, ऊर्जा की खपत कम कर सकते हैं, एवं बिजली के बिलों में होने वाले अतिरिक्त खर्च से भी बच सकते हैं। बस यह सुनिश्चित करें कि आपका पावर सप्लाई उचित वॉटेज वाला हो, ताकि लैंप जल्दी ही नष्ट न हों।