फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में 1°C का अंतर ही वायरलाइन की चौड़ाई में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन ला सकता है… और यह तो बहुत ही बड़ा नुकसान है। तापमान को नियंत्रित रखना ही आवश्यक है। हमने OEM सेमीकंडक्टर हीटिंग तत्वों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि नियंत्रण केवल सेटपॉइंट पर ही नहीं, बल्कि वेफर स्तर पर भी हो सके।
क्या महत्वपूर्ण है?
इस तत्व में क्वार्ट्ज शरीर में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हैलोजन एमिटरों का उपयोग किया गया है; इस कारण तापमान तेज़ी से एवं स्थिर रूप से नियंत्रित होता है। महत्वपूर्ण बात यह है कि वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C होनी चाहिए… यह मापन सीधे ही किया जाता है। यह तत्व क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी काम कर सकता है… और इसकी ऑपरेटिंग दक्षता 24/7 चलने पर भी ±0.2% के भीतर ही रहती है। इसका थर्मल रिस्पॉन्स फोटोरेजिस्ट को नरम/कठोर तरीके से गर्म करने हेतु विशेष रूप से डिज़ाइन किया गया है। इसे 200/300 मिमी वेफरों हेतु भी उपयोग में लाया जा सकता है… इसका वोल्टेज स्टैंडर्ड है, एवं इसका आकार छोटा है… इसलिए यह OEM उपकरणों में आसानी से फिट हो जाता है।
उत्पादन में इसकी उपयोगिता
लिथोग्राफी एवं पैकेजिंग प्रक्रियाओं में, यह तत्व वेफर के तापमान को नियंत्रित रखता है… इससे रीवर्क की आवश्यकता ही नहीं पड़ती। वेफर पर तापमान की एकरूपता से वेफरों की गुणवत्ता में सुधार होता है… एवं उत्पादन समय भी कम हो जाता है। क्लीनरूम-अनुकूल डिज़ाइन के कारण कणों की संख्या कम रहती है… इससे अलार्मों की संख्या भी कम हो जाती है। सटीक एमिटर मैचिंग एवं कम थर्मल मास के कारण ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है… इससे प्रति वेफर लागत भी कम हो जाती है। जब इसे बदलने की आवश्यकता होती है, तो इसे प्रक्रिया चैंबर को तोड़े बिना ही लगाया जा सकता है… इससे अनप्लान्ड डाउनटाइम भी कम हो जाता है।
किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
ऑप्टिक्स एवं पॉलिमरों पर अतिरिक्त ऊष्मा के प्रभाव को रोकने हेतु मैच्ड सॉकेट एवं उचित शील्डिंग आवश्यक है। निर्धारित एकरूपता प्राप्त करने हेतु एक वॉर्म-अप पीरियड आवश्यक है… इसे PM में ही शामिल करें। सर्वोत्तम स्थिरता हेतु, निर्धारित वोल्टेज सीमा के भीतर ही रहना आवश्यक है… एवं आसपास का तापमान भी नियंत्रित रखना आवश्यक है। हम मुख्य OEM प्लेटफॉर्मों के साथ इसके एकीकरण का समर्थन करते हैं… लेकिन इसे उपयोग में लाने से पहले आपकी टीम को ही इसकी पिनिंग, माउंटिंग एवं कूलिंग प्रणाली को ठीक करना होगा।