נורת הלוגן למערכת RTP

בחדר הייצור, שינוי של 0.2°C בטמפרטורה של הוופר במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט עלול לפגוע באיכות המוצר. במערכות RTP, הנורה אינה רק מקור חום – היא גם...