בשטח הייצור, קווי האריזה של חיישנים חכמים אינם יכולים לסבול שינויים תרמיים. כל טעות בתהליך החימום עלולה לגרום לבעיות, וכך התפוקה יורדת עוד לפני שתהליך הליתוגרפיה מסתיים. יצרנו פלטפורמה תרמית באמצעות אינפרא-אדום, כדי לבטל את השינויים האלו.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים בגופי פלט באור קרוב לאדום, המותאמים לקליטה של החומר הפוטורזיסטי. כך, החום מועבר במהירות וללא מגע עם החומר. בכל אזור החימום, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והשגרתיות של התהליך נשמרת באמצעות מערכת מדידה מדויקת. גוף החימום עשוי מקוורץ וקרמיקה ברמת טוהר גבוהה, כך שבמצב יציב אין ייצור של חלקיקים. הפלטפורמה יכולה לפעול בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, מבלי להגדיל את כמות החלקיקים. הפרופיל התרמי נשאר עקבי מלוט ללוט. עוצמת החום מנוהלת כך שתתאים לדרישות של השכבות הדקות, וזמן התגובה קצר – אין צורך לחכות להתייצבות תרמית.
למה זה מתאים לאריזת חיישנים חכמים? מדובר בשכבות דקות ורגישות, ואין מקום לטעויות. עם פלטפורמה זו, תהליך העיבוד של החומר הפוטורזיסטי נשאר בתוך הטווח המותר: חימום עדין שמייבש את החומר באופן אחיד, וחימום חזק שמקשה את החומר מבלי לגרום לבעיות. התוצאה היא פחות עבודות תיקון, פחות וופרים בזבזיים, ושליטה מדויקת בממדים של החיישנים.
הפלטפורמה גם מפחיתה את צריכת האנרגיה, כיוון שהיא מחממת רק כשצריך ומקררת במהירות. כך, צריכת האנרגיה יורדת, בעוד זמן העיבוד נשאר קצר. האמינות של הפלטפורמה גבוהה, וניתן לעקוב אחר חיי הגופי הפלט כדי שהטמפרטורה תישאר בטווח המותר.
מה צריך לתכנן? ההתקנה דורשת אספקת חשמל נקיה ומשטח יציב להתקנה. גופי הפלט רגישים לחוסר אחידות במיקום, ואם יש חוסר אחידות, ניתן לראות אפקט של צללים בקצוות הוופרים. יש לבצע בדיקות קצרות כדי לקבוע את ההגדרות הנכונות, ולאחר מכן לקבע אותן בתוכנית הבקרה.
לאחר שהפלטפורמה מותקנת כראוי, התהליך ניתן לחזרה עליו – אך יש צורך בבדיקות תקופתיות של האופטיקה ושל מערכת המדידה.