Dans les usines de fabrication de capteurs intelligents, les lignes d’emballage ne peuvent pas tolérer de variations thermiques. Un seul traitement thermique qui ne respecte pas les spécifications, ou un point chaud lors du traitement thermique, suffit pour que le taux de réussite de la production diminue, même avant que la lithographie ne soit terminée. Nous avons donc développé une plateforme thermique infrarouge pour éliminer ces variations.
Ce qui est important en réalité Nous utilisons des émetteurs IR ajustés sur la longueur d’onde d’absorption du photo-résiste, ce qui permet une distribution rapide et sans contact de la chaleur. Dans toute la zone de traitement thermique, l’uniformité à niveau de wafer reste à ±0,1 °C. La répétabilité est assurée grâce à une pyrométrie en boucle fermée directement au niveau du substrat. Le corps du chauffage est en quartz et en céramique de haute pureté, ce qui évite la formation de particules en état stationnaire. Ce système fonctionne dans des salles propres de classe 1–100 sans augmenter le nombre de particules présentes. Le profil thermique reste constant d’une série à l’autre. La densité d’énergie est gérée de manière à respecter les exigences thermiques des films minces. Le temps de réponse est suffisamment rapide pour maintenir un rythme de production optimal, sans avoir à attendre que la température se stabilise.
Pourquoi c’est adapté à l’emballage de capteurs intelligents Il s’agit de films minces, de structures délicates, et les contraintes liées à leur fabrication ne laissent aucune marge d’erreur. Avec cette plateforme infrarouge, le traitement du photo-résiste se déroule dans les limites prévues : les traitements thermiques doux permettent un séchage uniforme, tandis que les traitements thermiques intenses permettent un durcissement sans excès de chaleur. Les avantages sont une réduction des retouches, moins de wafer perdus, et un contrôle précis des dimensions critiques.
De plus, cette plateforme permet de réduire la consommation d’énergie, car elle ne fonctionne qu’en cas de besoin et se refroidit rapidement. Ainsi, la consommation d’énergie diminue, tout en maintenant un temps de cycle optimal. La fiabilité du système est assurée 24/7, avec un suivi de la durée de vie des émetteurs afin de maintenir la température dans les limites prescrites.
Ce dont vous devez tenir compte L’installation nécessite une alimentation électrique fiable et un support stable. L’arrangement des émetteurs est sensible aux désalignements ; si ceux-ci existent, cela peut entraîner des effets de ombreage aux bords du wafer. Il est donc nécessaire de procéder à des tests de qualification pour définir les paramètres appropriés, puis de fixer ces valeurs dans le plan de contrôle.
Une fois alignés, les processus deviennent reproductibles. Cependant, il est essentiel de vérifier régulièrement l’état des éléments optiques et de calibrer le pyromètre.