در فرآیند لیتوگرافی، مراحل حرارتی نه تنها «مراحل تغییر دما» هستند، بلکه مرز بین دقت الگوسازی و نیاز به بازسازی را نیز مشخص می‌کنند. فوتورزیست حساس...

نقشۀ لیتوگرافی پخت رزین الکترون‌پرتو (e-beam resist) چیزی مثل گرم کردن ساده نیست. این مرحله کنترل عرض خطوط را تعیین می‌کند. یک انحراف 0.3°C می‌تواند...