برداشتن حداکثر بازده از گرمای مورد استفاده برای شستشوی ویفرها
هنگام شستشوی ویفرها، مشکل اصلی معمولاً گرماست. لازم است که گرما به طور دقیق به سطح ویفر برسد؛ اما در اکثر مواقع، انرژی صرف گرم کردن بدنه دستگاه میشود. این موضوع واقعاً آزاردهنده است.
برای رفع این مشکل، از لامپهای مادون قرمز ضدآب همراه با منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. هدف ساده است: جلوگیری از اتلاف انرژی و هدایت آن به دقیقاً همان جایی که نیاز است.
چرا طلا؟
اکثر مردم از منعکسکنندههای آلومینیومی استفاده میکنند؛ اما این منعکسکنندهها انرژی زیادی را جذب میکنند. طلا متفاوت است؛ طلا در بازتاب امواج مادون قرمز بسیار موثر است.
میتوان آن را مانند تفاوت بین نور کم و لیزر در نظر گرفت. به جای انتشار گرما به صورت گسترده، لایه طلا انرژی را مستقیماً به سمت سیلیکون هدایت میکند. در نتیجه، به سرعت به دمای مورد نظر میرسید و نیازی نیست ولتاژ را بالا ببرید. این روش کارآمدتر است.
مقابله با مشکلات ناشی از رطوبت
باید صادق باشیم؛ ایستگاههای شستشو معمولاً مرطوب هستند. اگر رطوبت وارد تجهیزات الکترونیکی شود، همه چیز متوقف خواهد شد.
ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند با رطوبت کنار بیایند. سیستمهای ضدنفوذ در این لامپها بسیار قوی هستند؛ بنابراین رطوبت از رسیدن به الکترودها جلوگیری میشود. در نتیجه، نیازی نیست نگران قطعی دستگاه در حین کار باشید. این موضوع باعث آرامش بیشتری میشود.
نکاتی که باید در نظر گرفت
از آنجایی که گرما بسیار متمرکز است، باید مراقب محل قرارگیری لامپها باشید. اگر فاصله لامپها خیلی کم باشد، ممکن است لبههای ویفرها آسیب ببینند. پیشنهاد میکنم کمی وقت بگذارید تا فاصله بین منعکسکننده و سطح ویفر را تنظیم کنید تا از ایجاد نقاط گرم اضافی جلوگیری شود. همچنین، مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما بتواند بار حرارتی ناشی از بازتاب انرژی را تحمل کند.
نکته خوب اینجاست که این لامپها قابل جایگزینی با لامپهای قدیمی هستند؛ بنابراین میتوانید هزینههای برق خود را کاهش دهید. فقط مطمئن شوید که توان برقی لامپها مناسب باشد تا لامپها زود خراب نشوند.