در فرآیند تولید، مراحل پختن صفحات، جایی هستند که مقدار انرژی حرارتی مورد نیاز برای کنترل عرض خطوط روی صفحات تعیین میشود. تغییر ۲ درجه سانتیگراد در دمای پختن، منجر به تغییراتی در ویژگیهای فیزیکی صفحات میشود و باعث ایجاد ناهمواریهایی روی سطح صفحات میگردد. ما یک هیتر مبتنی بر نانولولههای کربنی ساختیم تا این نوسانات را از بین ببرد.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟ در سراسر سطح صفحات، یکنواختی حرارتی در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد وجود دارد؛ همچنین قابلیت تکرار این مقدار حرارتی نیز در حد ±۰.۲ درجه سانتیگراد است. عنصر کربنی نانولولهای، به سرعت واکنش نشان میدهد و پایدار باقی میماند؛ همچنین طراحی بدون استفاده از کوارتز، باعث کاهش تولید ذرات میشود. این هیتر در اتاقهای تمیز درجه ۱ تا ۱۰۰ کار میکند؛ بدون اینکه گازهایی وارد محفظه فرآیند شوند یا نقاط داغی ایجاد شوند که بتوانند روی سطح صفحات تأثیر بگذارند. کنترل تدریجی دما، باعث میشود که الگوی حرارتی متناسب با ویژگیهای شیمیایی صفحات باشد؛ نه اینکه فقط دما تحت کنترل هیتر باشد.
چرا این روش در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟ در فرآیند لیتوگرافی، پایداری دمای پختن، باعث حذف حلالها و کنترل تنشهای روی لایههای روی صفحات میشود؛ همچنین پایداری دمای پختن، باعث بهبود ویژگیهای چسبندگی و مقاومت لایهها در برابر خوردگی میشود. با استفاده از این هیتر، تغییرات در ویژگیهای فیزیکی صفحات کاهش مییابد؛ همچنین نیاز به تعمیرات نیز کاهش مییابد. مصرف انرژی نیز کمتر است، زیرا این هیتر به خوبی گرما تولید کرده و دما را بدون نوسان حفظ میکند.
جزئیاتی که لازم است بدانید: این هیتر نیاز به منبع تغذیه ویژه و فیلترشده دارد؛ همچنین نیاز به تثبیت حرارتی مناسب نیز وجود دارد. اگر اتصالات مناسبی وجود نداشته باشد، یکنواختی حرارتی کاهش خواهد یافت. لازم است یک آزمایش کوتاه انجام شود تا سرعت تغییر دما برای نوع خاص صفحات تنظیم شود. پس از تنظیم، فرآیند تولید به خوبی پیش خواهد رفت و ویژگیهای حرارتی صفحات در هر بار تولید، یکسان خواهد بود.