Secar las obleas de sensores MEMS sin problemas
Secar las obleas de sensores MEMS es algo delicado. Es necesario que el líquido utilizado para enjuagar desaparezca rápidamente, pero si no se tiene cuidado, pueden quedar manchas de agua o, peor aún, estrés mecánico que pueda dañar todo el lote de obleas.
Por eso utilizamos calentadores por infrarrojos diseñados específicamente para esta tarea. En lugar de calentar solo el aire, estos calentadores actúan directamente sobre la superficie de las obleas. De esta manera, se elimina la humedad antes de que la tensión superficial pueda unir las delicadas estructuras de los sensores y causar daños.
El aspecto relacionado con el calor
Buscamos una alta potencia por pulgada lineal. ¿Por qué? Porque queremos que las obleas alcancen la temperatura de evaporación en segundos, no en minutos. Si el proceso de secado se alarga, eso solo sirve para permitir que entre contaminación en las obleas.
Pero aquí está el problema: una alta densidad de calor es un arma de doble filo. Hay que ser preciso al regular la temperatura. Si se aplica demasiado calor bruscamente, las membranas finas de los sensores se romperán. Todo depende de cómo se gestione la temperatura.
Cuarzo y el problema de los “desperdicios”
Para mantener la estabilidad, colocamos los filamentos en cuarzo de alta pureza. Es la única forma de manejar esos cambios bruscos de temperatura sin que las obleas se deformen.
También recubrimos los filamentos. Esto permite que la energía afecte directamente a las obleas, en lugar de solo calentar las paredes de la cámara. Así, el calor queda donde debe estar. Además, utilizamos conectores estándar, así que cuando sea necesario realizar mantenimiento, basta con reemplazarlos y seguir trabajando.
Ningún espacio para errores
En una sala limpia, un solo arco eléctrico puede ser un desastre. Puede destruir todo un lote de obleas en cuestión de segundos.
Por eso, no tomamos riesgos. Cada calentador que enviamos pasa por pruebas de resistencia dieléctrica y de aislamiento al 100%. Los sometemos a sus límites de voltaje absolutos para asegurarnos de que no haya fugas de corriente. Un fallo en el campo de uso simplemente no es una opción.
Un último consejo: asegúrese de que las fuentes de alimentación coincidan con la impedancia del calentador. Si no es así, obtendrá un rendimiento deficiente o los filamentos se quemarán demasiado rápido.